[发明专利]一种曝光机有效

专利信息
申请号: 201210489221.0 申请日: 2012-11-26
公开(公告)号: CN103019041A 公开(公告)日: 2013-04-03
发明(设计)人: 陆忠;李炳天;黄丽娟;靳福江 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 曝光
【权利要求书】:

1.一种曝光机,其特征在于,包括:

载物框,所述载物框的边框内侧设置有固定被曝光物的固定件;

光源装置,位于所述载物框所在平面的一侧,且出光方向垂直于所述载物框所在平面。

2.如权利要求1所述的曝光机,其特征在于,所述载物框为吸光材料的载物框。

3.如权利要求2所述的曝光机,其特征在于,所述吸光材料的载物框具体为铝合金载物框或银纳米材料载物框。

4.如权利要求1所述的曝光机,其特征在于,所述固定件为卡夹或真空吸盘。

5.如权利要求1所述的曝光机,其特征在于,还包括:

水平设置的托台,所述载物框竖直设置于所述托台上。

6.如权利要求5所述的曝光机,其特征在于,所述托台上设置有轨道,所述载物框滑动装配于所述轨道上。

7.如权利要求6所述的曝光机,其特征在于,所述轨道包括位于所述光源装置的两侧且互相平行的两条轨道,所述载物框包括分别滑动装配于一条轨道上的两个载物框。

8.如权利要求7所述的曝光机,其特征在于,所述托台包括一个固定台和分别位于所述固定台两侧的两个水平旋转台,每一条所述轨道分为三段,分别设置于所述固定台和两个所述水平旋转台上,且当任一所述水平旋转台旋转180度时,轨道对接。

9.如权利要求1~8任一项所述的曝光机,其特征在于,所述光源装置包括:

光源;

三棱镜,位于所述光源下方,将所述光源射出的光线由竖直方向反射为水平方向。

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