[发明专利]一种曝光机

说明书

技术领域

本发明涉及工程曝光设备技术领域，特别是涉及一种曝光机。

背景技术

随着有机膜在光刻工艺中的广泛应用，曝光需要的时间越来越长并且曝光效果也有待提高，因此曝光成为整个光刻工艺的瓶颈，严重影响了工程效率。

现有的工程曝光机都是采用水平曝光方式，如图1所示，被曝光物03水平放置在载物台04上，光02从光源装置01中射出，从上向下对物体曝光。

这种曝光机的载物台为实体结构，载物台与被曝光物的整个表面接触，这种曝光机的弊端为，如图2所示，当光线02通过被曝光物03后，仍有少量的光05被载物台04反射到被曝光物03上，因此在被曝光物03上形成载物台斑点。载物台斑点，是一种很严重的斑点，使得产品显示效果出现异常。另外，由于被曝光物是直接接触载物台，容易产生很多不良，被曝光物上除载物台斑点外，还容易有颗粒附着，并且被曝光物与载物台接触摩擦还容易产生静电等。

发明内容

本发明提供了一种曝光机，以避免在被曝光物上形成载物台斑点，提高曝光质量。

本发明的曝光机，包括：

载物框，所述载物框的边框内侧设置有固定被曝光物的固定件；

光源装置，位于所述载物框所在平面的一侧，且出光方向垂直于所述载物框所在平面。

所述载物框为吸光材料的载物框。

优选的，所述吸光材料的载物框具体为铝合金载物框或银纳米材料载物框。

所述固定件为卡夹或真空吸盘。

所述的曝光机，还包括：

水平设置的托台，所述载物框竖直设置于所述托台上。

所述托台上设置有轨道，所述载物框滑动装配于所述轨道上。

所述轨道包括位于所述光源装置的两侧且互相平行的两条轨道，所述载物框包括分别滑动装配于一条轨道上的两个载物框。

所述托台包括一个固定台和分别位于所述固定台两侧的两个水平旋转台，每一条所述轨道分为三段，分别设置于所述固定台和两个所述水平旋转台上，且当任一所述水平旋转台旋转180度时，轨道对接。

所述光源装置包括：

光源；

三棱镜，位于所述光源下方，将所述光源射出的光线由竖直方向反射为水平方向。

在本发明技术方案中，将现有技术的载物台以载物框代替，载物框内侧设置有固定件，被曝光物通过固定件固定于载物框中，在曝光时载物框不会反射穿过被曝光物的光线，因而避免了载物台斑点，提高了曝光质量。

附图说明

图1为现有技术的曝光机结构示意图；

图2为现有技术的曝光机产生载物台斑点的示意图；

图3为本发明一实施例曝光机结构示意图；

图4a、图4b为本发明曝光机载物框结构示意图，其中，图4a为卡夹关闭状态，图4b为卡夹打开状态；

图5为本发明另一实施例曝光机结构示意图；

图6为本发明曝光机光源装置结构示意图；

图7a-图7e为本发明实施例曝光机竖直双向曝光流程示意图。

附图标记：

01-光源；02、74-光线；03、2-被曝光物；04、1-载物台；05-反射光；3-卡夹；4-托台；5-水平旋转台；6-固定台；7-光源装置；8-轨道；9-固定件；71-三棱镜；72-反光板；73-光源。

具体实施方式

为了避免曝光时产生的载物台斑点，本发明实施例提供了一种曝光机。该技术方案中，曝光机的载物台采用载物框结构，载物框内侧设置有固定件，被曝光物通过固定件固定于载物框中，曝光时光通过被曝光物后不能被反射，因而避免了被曝光物上的载物台斑点，提高了曝光质量。为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，以下举具体实施例对本发明作进一步详细说明。

如图3所示，本发明实施例的曝光机，包括：

载物框1，载物框1的边框内侧设置有固定被曝光物2的固定件9；

光源装置7，位于载物框1所在平面的一侧，且出光方向垂直于载物框1所在平面。

在本发明技术方案中，将现有技术中的载物台以载物框1代替，当光线垂直射入被曝光物2时，光线不会被载物框1重新反射，因而解决了载物台斑点问题，并且载物框1和被曝光物2接触面积较少，减少了摩擦产生的静电。此外，载物框1为框架结构，节省了材料。载物框1可以为水平放置，也可以为竖直放置，只要光线通过被曝光物2后不被载物框1反射即可。