[发明专利]六氟化硫制备方法

权利要求书

1.一种六氟化硫制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）使氟气与气态硫磺反应生成粗六氟化硫气体；

2）将粗六氟化硫气体进行热解处理，除去其中含S₂F₁₀和S₂F₁₀O的有毒气体；

3）将热解后的粗六氟化硫气体进行洗涤处理，除去可水解杂质和酸性杂质；

4）将洗涤后的粗六氟化硫气体进行除水处理、除酸处理及精馏处理，得到六氟化硫产品，对产品取样检测，若检测合格，则将产品排入产品储罐；若检测不合格，则进行相关处理，以得到合格产品。

5）将精馏处理分离出的尾气进行回收处理，回收其中的六氟化硫。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤1）中所述氟气是通过以氟氢化钾熔融盐为电解液，以无水氟化氢为原料，进行中温法电解产生。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤1）中所述氟气与气态硫磺的重量比为1.03-1.06:1。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤1）中所述反应的反应温度为150～180℃，反应压力为-50～-100Pa。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤2）中所述热解处理是在热解塔中进行，热解塔的温度为380～420℃，压力为-150～-200Pa。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤3）中所述的洗涤处理分为水洗处理和碱洗处理，其中，所述水洗处理在水洗塔中进行，水洗塔温度为30～35℃，压力为-200～-250Pa；所述碱洗处理在碱洗塔中进行，碱洗塔温度为50～60℃，压力为-250～-300Pa。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤4）中所述的除水处理分为两部分：冷凝除水和低压吸附除水，其中，所述低压吸附除水在低压吸附塔中进行，低压吸附塔的压力为-250～-300Pa，低压吸附塔选择硅胶作为吸附剂，硅胶可通过加热后再生。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤4）中所述的除酸处理是在高压吸附塔中进行，高压吸附塔的压力为1.8～2.0MPa，高压吸附塔采用活性炭为吸附剂，活性炭可通过加热后再生。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤4）中所述的精馏处理是在精馏塔中进行，精馏塔塔釜的温度为15～17℃，精馏塔塔顶冷凝器的温度为-30～-35℃，精馏塔压力为1.8～2.0MPa。

10.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤4）中所述相关处理包括以下之一：

A)若检测到产品的CF₄和空气超标，则将不合格的六氟化硫重新精馏去除；

B)若检测到产品的可水解氟化物和酸度超标，则将不合格的六氟化硫重新洗涤去除；

C)若检测到产品的S₂F₁₀O超标，则将不合格的六氟化硫重新热解去除。