[发明专利]用于在加工过程中传输太阳能晶圆的带式输送机

权利要求书

1.一种用于在加工期间传输太阳能晶圆的带式输送机，该带式输送机包含有：

多个环形金属带，其用于支撑太阳能晶圆；

多个旋转皮带轮，其被配置来接纳多个环形金属带，该旋转皮带轮旋转以沿着连续路径传输多个环形金属带中的每一个，藉此传输太阳能晶圆；和

检查设备，其被设置来在太阳能晶圆由多个环形金属带传输的同时检查太阳能晶圆。

2.如权利要求1所述的带式输送机，其中，该多个旋转皮带轮中的每一个包含有凸出的弯曲表面，相应一定宽度的环形金属带被接纳在该弯曲表面的上方。

3.如权利要求1所述的带式输送机，该带式输送机还包含有底座，其中多个旋转皮带轮被设置在底座的相对端部。

4.如权利要求3所述的带式输送机，其中，多个环形金属带沿着底座的相对端部设置。

5.如权利要求3所述的带式输送机，其中，该底座包含有一个或一个以上的洞口，以便于检查设备被操作来在太阳能晶圆由多个环形金属带所传输的同时，通过该一个或一个以上的洞口检查太阳能晶圆。

6.如权利要求3所述的带式输送机，该带式输送机包含有用于在多个环形金属带中的每一个上朝向底座产生吸附力的设备，以将多个环形金属带中的每一个相对于连续路径的偏差位移最小化。

7.如权利要求6所述的带式输送机，其中该设备包括真空泵，而该底座包含有多个随意的内部通道；

其中，多个随意的内部通道的一端与多个环形金属带接触，而多个随意的内部通道的另一端和真空泵相连，以致于当真空泵被操作的时候，在该内部通道的内部产生负压，藉此在多个环形金属带上朝向底座产生吸附力。

8.如权利要求6所述的带式输送机，其中，该设备包括磁体，以在多个环形金属带上朝向底座产生磁力。

9.如权利要求1所述的带式输送机，该带式输送机还包含有清洁设备，以用于清洁多个环形金属带。

10.如权利要求9所述的带式输送机，其中，该清洁设备包括刷体，该刷体具有刷毛，以用于清洁多个环形金属带。

11.如权利要求9所述的带式输送机，其中，该清洁设备包括擦块，以将多个环形金属带擦洗清洁。