[发明专利]用于在加工过程中传输太阳能晶圆的带式输送机

说明书

技术领域

本发明涉及一种在加工过程中当太阳能晶圆（solar wafers）移动通过不同的处理平台时用于传输太阳能晶圆的带式输送机（belt conveyor）。

背景技术

太阳能电池（solar cells）是根据光伏效应（photovoltaic effect：PV effect）将光能转化为电能的电子器件。通过将太阳能电池排列在一起，PV太阳能版能够被成型来提供一种能量产生器件。另外，太阳能电池已经被用作为备份能源供应，以用于不同的消费者产品如移动手机和个人数字助理。

太阳能电池的加工包括三维（3D）检查，如晶圆一致性、热点、阵列的不一致性、和表面的污染水平。太阳能晶圆是用于加工太阳能电池的原材料。通常，太阳能晶圆使用带式输送机沿着传输路径被传输通过检测区域，在那里通过激光和视觉系统快速（on-the-fly）完成3D检查，以提供太阳能晶圆不同的测量结果，如厚度尺寸、弓曲和扭曲。不幸的是，在操作过程中，用于传输太阳能晶圆的传统的带式输送机倾向于振动。所以，当太阳能晶圆被传输通过检测区域时，由传统的带式输送机所传输的太阳能晶圆常常遭受自传输路径的偏离位移（如Z轴变动）。这种由传统的带式输送机的振动所引起的偏离位移影响了加工过程中太阳能晶圆快速检查的精确性。

解决在传统的带式输送机中存在的偏离位移难题的一种方法是通过将太阳能晶圆的检查区域限定至点（或线）。但是这种方法仅仅提供将偏差位移难题对快速检查精确度方面的影响最小化，可是并没有解决引起该难题的传统的带式输送机的振动。而且，通过检查太阳能晶圆的这个方法，快速检查精确度并没有显著地得以改善。

所以，本发明的目的是寻求解决在加工过程中用于传输太阳能晶圆的传统的带式输送机的振动，以便于改善加工过程中太阳能晶圆的快速检查精确度。

发明内容

本发明一方面提供一种用于在加工期间传输太阳能晶圆的带式输送机，该带式输送机包含有：i）多个环形金属带，其用于支撑太阳能晶圆；ii）多个旋转皮带轮，其被配置来接纳多个环形金属带，该旋转皮带轮旋转以沿着连续路径传输多个环形金属带中的每一个，藉此传输太阳能晶圆；和iii）检查设备，其被设置来在太阳能晶圆由多个环形金属带传输的同时检查太阳能晶圆。

由于使用多个环形金属带以支撑太阳能晶圆，所以带式输送机在加工期间传输太阳能晶圆之时能够使得其振动移动最小化。接着，由多个环形金属带中的每一个所遭受的相对于其相应的连续路径的任何偏差位移同样也被最小化，所以，通过检查设备进行的太阳能晶圆的快速检查的精度有益地得到加强。

本带式输送机的一些可选特征描述在从属权利要求中。

例如，带式输送机可以进一步包含有底座（chassis），其中多个旋转皮带轮被设置在该底座的相对两端。多个环形金属带可以沿着底座的对立端设置。所以，多个环形金属带可以用于支撑太阳能晶圆的相对端部，以在加工期间当太阳能晶圆由带式输送机传输时，有益地为太阳能晶圆提供额外的稳定性。

更为合适地，底座可以包含有至少一个洞口，以便于在太阳能晶圆正由多个环形金属带传输的同时，检查设备通过该至少一个洞口检查太阳能晶圆。

而且，多个旋转皮带轮中的每一个可包含有凸伸的弯曲表面，相应一定宽度的环形金属带被接纳在该弯曲表面的上方。多个旋转皮带轮的这种弯曲表面可具有的优点为：为多个环形金属带提供了更强的握紧力，以保证环形金属带不会从多个旋转皮带轮处分离。

另外，该带式输送机可包含有用于在多个环形金属带上朝向底座产生吸附力的设备，以将多个环形金属带相对于连续路径的偏差位移最小化。由于多个环形金属带中的每一个所遭受的相对于其相应的连续路径的偏差位移同样被进一步最小化，所以，太阳能晶圆的快速（on-the-fly）检查的精度有益地得到进一步加强。

在一些实施例中，该用于产生吸附力的设备可包括真空泵，而该底座可包含有多个随意的内部通道（open-ended interior channels）；其中，多个随意的内部通道的一端与多个环形金属带接触，而多个随意的内部通道的相对另一端和真空泵相连。通过这种方式，当真空泵被操作的时候，在该内部通道的内部产生负压-藉此在多个环形金属带朝向底座产生力。在其他的实施例中，该用于产生吸附力的设备可包括磁体，以在多个环形金属带上朝向底座产生磁力。