[发明专利]具波浪形表面的玻璃基板的制造方法

权利要求书

1.一种具波浪形表面的玻璃基板的制造方法，其特征在于，包含步骤：

(a) 提供一玻璃基板；

(b) 在所述玻璃基板的表面上制作一保护层，所述保护层包含一待蚀刻区域，其曝露出所述玻璃基板的部分表面；

(c) 进行一第一蚀刻制程，以将所述玻璃基板蚀刻形成对应所述待蚀刻区域的一凹槽；

(d) 将所述保护层移除；以及

(e) 将步骤(c)中形成有所述凹槽的玻璃基板浸入蚀刻液中，进行一第二蚀刻制程，以将所述凹槽的壁面曲度化，形成具波浪形表面的玻璃基板。

2.如权利要求1所述的具波浪形表面的玻璃基板的制造方法，其特征在于，步骤(c)的第一蚀刻制程中是以一第一蚀刻速率对所述玻璃基板进行蚀刻，而步骤(e)的第二蚀刻制程中是以一第二蚀刻速率对所述玻璃基板进行蚀刻，所述第一蚀刻速率大于所述第二蚀刻速率。

3.如权利要求1所述的具波浪形表面的玻璃基板的制造方法，其特征在于，在步骤(b)中所述待蚀刻区域的大小是预先决定的，而在步骤(c)中所述玻璃基板上形成的所述凹槽具有一预定深度和一预定宽度。

4.如权利要求1所述的具波浪形表面的玻璃基板的制造方法，其特征在于，在步骤(e)之前，更包含将所述玻璃基板洗净的步骤。

5.如权利要求1所述的具波浪形表面的玻璃基板的制造方法，其特征在于，步骤(b)包含：

提供一胶膜；以及

将所述胶膜贴附在所述玻璃基板的表面上，以形成所述保护层。

6.如权利要求1所述的具波浪形表面的玻璃基板的制造方法，其特征在于，步骤(b)包含：

提供一可溶性材料；

将所述可溶性材料涂布在所述玻璃基板的表面上；以及

对所述涂布的可溶性材料进行烘干作业，以形成所述保护层。

7.如权利要求1所述的具波浪形表面的玻璃基板的制造方法，其特征在于，步骤(b)包含：

将所述玻璃基板置于一化学沉积机台中；以及

以化学沉积方式在所述玻璃基板的表面镀上一耐蚀层，以作为所述保护层。

8.如权利要求1所述的具波浪形表面的玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述保护层的材质包含有机材料和金属材料至少一种。

9.如权利要求1所述的具波浪形表面的玻璃基板的制造方法，其特征在于，在步骤(c)和步骤(e)中进行蚀刻程序所使用的蚀刻液至少包含氢氟酸。

10.一种具波浪形表面的玻璃基板的制造方法，其特征在于，包含步骤：

(a) 提供一玻璃基板；

(b) 在所述玻璃基板的表面上制作一保护层，所述保护层包含一待蚀刻区域，其曝露出所述玻璃基板的部分表面；

(c) 以一第一蚀刻速率对来自步骤(b)的玻璃基板进行蚀刻，以在所述玻璃基板上形成对应所述待蚀刻区域的一凹槽，所述玻璃基板上形成的所述凹槽具有一预定深度和一预定宽度；

(d) 将所述保护层自所述玻璃基板移除；以及

(e) 以一第二蚀刻速率对来自步骤(d)的玻璃基板进行蚀刻，以将所述凹槽的壁面曲度化，形成具波浪形表面的玻璃基板，其中步骤(c)中的所述第一蚀刻速率大于步骤(e)中的所述第二蚀刻速率。