[发明专利]蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室在审
申请号: | 201210507096.1 | 申请日: | 2012-11-30 |
公开(公告)号: | CN102969216A | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 吴敏;王旭东;周雷 | 申请(专利权)人: | 上海宏力半导体制造有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 郑玮 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蚀刻 终点 检测 窗口 | ||
1.一种蚀刻终点检测窗口,其特征在于,包括透光板和窗口板,所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽,所述凹槽的底部开设若干通光孔,所述凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽。
2.根据权利要求1所述的蚀刻终点检测窗口,其特征在于,所述卡槽的截面呈矩形。
3.根据权利要求1所述的蚀刻终点检测窗口,其特征在于,所述透光板是玻璃。
4.根据权利要求1所述的蚀刻终点检测窗口,其特征在于,所述透光板通过螺栓组件或者胶带安装于所述凹槽中。
5.一种蚀刻终点检测仪,其特征在于,包括蚀刻终点检测窗口和光谱仪,用于检测蚀刻终点的光线经蚀刻终点检测窗口传输至所述光谱仪,所述蚀刻终点检测窗口包括透光板和窗口板,所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽,所述凹槽的底部开设若干通光孔,所述凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽。
6.根据权利要求5所述的蚀刻终点检测仪,其特征在于,所述卡槽的截面呈矩形。
7.根据权利要求5所述的蚀刻终点检测仪,其特征在于,所述透光板是玻璃。
8.一种蚀刻腔室,其特征在于,包括腔体、内壁保护层和蚀刻终点检测窗口,所述内壁保护层设置于所述腔体的内侧,所述内壁保护层上开设有用于安装所述蚀刻终点检测窗口的开口,所述蚀刻终点检测窗口包括透光板和窗口板,所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽,所述凹槽的底部开设若干通光孔,所述凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽。
9.根据权利要求8所述的蚀刻腔室,其特征在于,所述卡槽的截面呈矩形。
10.根据权利要求8所述的蚀刻腔室,其特征在于,所述透光板是玻璃。
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