[发明专利]蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室。

背景技术

在半导体制造中，蚀刻(Etch)是指将形成在晶圆表面上的薄膜全部，或特定处所去除至必要厚度的制程。为了获知，所述薄膜是否被蚀刻至必要的厚度，需要采用蚀刻终点检测仪（EPD,全称：End point detector）进行检测。蚀刻终点检测仪利用波长侦测蚀刻终点。通俗而言，就是通过监测蚀刻腔（chamber）里光线的变化来进行检测。由于蚀刻腔室的墙壁一般是金属制作而成，检测光线无法穿透，因此，需要在腔壁的内壁保护层上开设用于安装蚀刻终点检测窗口（EPD window）的开口。

请参阅图1至图4，其中，图1为现有的蚀刻终点检测窗口的结构俯视示意图；图2为图1的侧视图；图3为现有的蚀刻终点检测窗口的窗口板的结构俯视示意图；图4为图3的侧视图。由图1至图4可见，蚀刻终点检测窗口包括透光板（EPD glass）1’和窗口板(EPD window plate)2’，所述窗口板2’上开设有若干通光孔22’，所述窗口板2’上设有用于安装透光板1’的凹槽21’，所述透光板至少覆盖于所述窗口板2’上具有通光孔22’的区域，所述检测光线经蚀刻终点检测窗口上的通光孔22’到达光谱仪，光谱仪再把信号转换成数字信号，传送给机台ECC（中央控制单元），从而来控制蚀刻是不是到终点了。

现有的机台中，请继续参阅图1至图3，透光板1’通过螺纹组件3’（也可以采用胶带等其他方式）安装于窗口板2’的凹槽21’中。由于内壁保护层使用一段时间后要进行更换，因此，不得不需要拆卸内壁保护层上的蚀刻终点检测窗口。在拆卸的过程中，松开螺纹组件3’或者撕开胶带后，一旦没有同时握紧透光板1’和窗口板2’，会发生透光板1’和窗口板2’坠落损坏事件，尤其透光板是十分容易破碎的，因此，不但影响的内壁保护层的维护、更换效率，而且也增大了透光板1’的使用量，提高了生产成本。

因此，如何提供一种可以防止透光板在拆卸过程中掉落的蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室实是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室，可以防止透光板在拆卸过程中掉落，提高维护的安全性和效率，降低了成本。

为了达到上述的目的，本发明采用如下技术方案：

一种蚀刻终点检测窗口，包括透光板和窗口板，所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽，所述凹槽的底部开设若干通光孔，所述凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽。

优选的，在上述的蚀刻终点检测窗口中，所述卡槽的截面呈矩形。

优选的，在上述的蚀刻终点检测窗口中，所述透光板是玻璃。

优选的，所述透光板通过螺栓组件或者胶带安装于所述凹槽中。

本发明还公开了一种蚀刻终点检测仪，包括蚀刻终点检测窗口和光谱仪，用于检测蚀刻终点的光线经蚀刻终点检测窗口传输至所述光谱仪，所述蚀刻终点检测窗口包括透光板和窗口板，所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽，所述凹槽的底部开设若干通光孔，所述凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽。

优选的，在上述的蚀刻终点检测仪中，所述卡槽的截面呈矩形。

优选的，在上述的蚀刻终点检测仪中，所述透光板是玻璃。

本发明还公开了一种蚀刻腔室，包括腔体、内壁保护层和蚀刻终点检测窗口，所述内壁保护层设置于所述腔体的内侧，所述内壁保护层上开设有用于安装所述蚀刻终点检测窗口的开口，所述蚀刻终点检测窗口，包括透光板和窗口板，所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽，所述凹槽的底部开设若干通光孔，所述凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽。

优选的，在上述的蚀刻腔室中，所述卡槽的截面呈矩形。

优选的，在上述的蚀刻腔室中，所述透光板是玻璃。

本发明提供的蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室，通过在所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽，可以使得透光板卡在窗口板的卡槽中，防止透光板在拆卸过程中掉离窗口板，保护了易碎的透光板，从而，提高了蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室的维护安全性和效率，降低了配件成本。

附图说明

本发明的蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室由以下的实施例及附图给出。

图1为现有的蚀刻终点检测窗口的结构俯视示意图。

图2为图1的侧视图。