[发明专利]管路监测装置在审

专利信息
申请号: 201210507626.2 申请日: 2012-11-30
公开(公告)号: CN102998012A 公开(公告)日: 2013-03-27
发明(设计)人: 胡可绿;解毅;何雅彬;朱义党;郑修锋;王华钧;忻圣波 申请(专利权)人: 上海宏力半导体制造有限公司
主分类号: G01K1/02 分类号: G01K1/02
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 郑玮
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 管路 监测 装置
【权利要求书】:

1.一种管路监测装置,用于管壁外包裹有加热套的多段连续管路,其特征在于,与每段管路对应的加热套均连接有温度监测元件,多个所述温度监测元件串联,并与控制器电连接。

2.根据权利要求1所述的管路监测装置,其特征在于,所述温度监测元件为温度传感器。

3.根据权利要求1所述的管路监测装置,其特征在于,还包括一报警单元,所述报警单元与所述控制器连接。

4.根据权利要求1至3中任一项的所述管路监测装置,其特征在于,所述多段连续管路的一端连接正硅酸乙酯液体输出端,所述多段连续管路的另一端连接正硅酸乙酯气体输入端。

5.根据权利要求4所述的管路监测装置,其特征在于,所述多段连续管路通过所述加热套加热至120度。

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