[发明专利]一种铜铟镓硒太阳能电池用硫化铟缓冲层薄膜的制备方法无效
申请号: | 201210510057.7 | 申请日: | 2012-12-02 |
公开(公告)号: | CN103311364A | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 李伟;刘平;王卫兵;马凤仓;刘新宽;陈小红;何代华 | 申请(专利权)人: | 上海理工大学 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人: | 郁旦蓉 |
地址: | 200093 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 铜铟镓硒 太阳能电池 硫化 缓冲 薄膜 制备 方法 | ||
1.一种铜铟镓硒太阳能电池用In2S3缓冲层薄膜的制备方法,由化学水浴法在基体上反应合成In2S3缓冲层薄膜,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1,清洗所述基体,
将所述基体依次用丙酮、乙醇在超声波中分别清洗一段时间,再用去离子水冲洗彻底后放在保温箱里面烘干;
步骤2,配制反应溶液,
取一定量的InCl3·4H2O、CH3CSNH2和CH3COOH(AC)溶液置于一容器中配制成混合溶液,控制所述混合溶液中In离子和S离子浓度比nIn:nS在1:2~1:10范围内,并调节所述混合溶液的pH值,使所述pH值在一定范围内,得到反应溶液;
步骤3,沉积In2S3缓冲层薄膜,
将装有所述反应溶液的所述容器放入一定温度的恒温水浴槽中,并将所述基体固定于所述反应溶液中,然后将所述容器用铝纸密封,在磁力搅拌器的搅拌下,所述基体与所述反应溶液发生反应,反应完全后得到沉积有所述In2S3缓冲层薄膜的基体;
步骤4,除杂,
将所述沉积有In2S3缓冲层薄膜的基体取出,并用去离子水去除其的表面杂质,然后将其放在保温箱内烘干。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:
其中,所述一段时间为12min。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:
其中,所述一定范围为1.6~2.4。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:
其中,所述一定温度为在60℃~80℃范围内的任意温度值。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:
其中,所述InCl3·4H2O、所述CH3CSNH2和所述CH3COOH溶液均为分析纯。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:
其中,所述基体包括玻璃基片。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的