[发明专利]一种铜铟镓硒太阳能电池用硫化铟缓冲层薄膜的制备方法无效
申请号: | 201210510057.7 | 申请日: | 2012-12-02 |
公开(公告)号: | CN103311364A | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 李伟;刘平;王卫兵;马凤仓;刘新宽;陈小红;何代华 | 申请(专利权)人: | 上海理工大学 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人: | 郁旦蓉 |
地址: | 200093 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 铜铟镓硒 太阳能电池 硫化 缓冲 薄膜 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种铜铟镓硒(CIGS)太阳能电池用In2S3缓冲层薄膜的制备方法。
背景技术
铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池具有成本低、光电转化率高、性能稳定等优异的性能,使其成为最有发展前景的光伏电池之一。1974年,美国Bell实验室的Wagner等人首先研制出了光电转化率为5%的单晶体CIS太阳能电池。1982年波音(Boeing)公司的Chen等人采用蒸发Cd1-xZnxS代替CdS做缓冲层,与CIS多晶体薄膜形成异质结,提高了器件的开路电压,使CIS多晶体太阳能电池转化率达到10.6%。1985年,Potter等人研究出了以CIS为吸收层,CdS为缓冲层,ZnO为窗口层结构的新型的电池,很好的改善了电池性能。随着CIGS太阳能电池的逐渐发展,2008年美国国家可再生能源实验室(NREL)制备了效率为19.9%的CIGS薄膜太阳能电池。2010年4月,德国太阳能和氢能研究机构(ZSW)创造了20.1%的效率记录,同时也标志着CIGS太阳能电池效率首次突破20%。同年8月ZSW又报道了CIGS薄膜太阳能电池光电转化效率达20.3%,这是迄今为止最好的转化效率,与多晶体硅太阳能电池的效率差距缩小到了0.1%。
CIGS薄膜太阳能电池的典型结构为:衬底/Mo/CIGS/缓冲层/ZnO/ZAO/MgF2。其中缓冲层在低带隙CIGS吸收层与高带隙ZnO窗口层之间形成过渡,减少两者之间的带隙台阶与晶格失配,对改善 CIGS薄膜太阳能电池pn结质量有重要的作用。目前采用CdS为缓冲层的CIGS薄膜太阳能电池效率已达到20.3%。然而,由于Cd对环境的污染等不利因素限制了电池的大面积使用,因此研究开发高效的无Cd缓冲层材料替代CdS是缓冲层发展的主要方向。近年来,研究者在开发替代CdS的无Cd缓冲层材料上取得了一些成果,主要的替代缓冲层材料有In2S3、ZnS、Zn1-xMgxO、ZnSe、ZnO、In(OH)3、In2Se3等。通过查新检索到如下制备无Cd缓冲层有关的专利:
申请号为CN200310107262.X的专利涉及了无Cd的CIGS薄膜太阳能电池缓冲层薄膜的制备方法,在CIGS光学吸收层薄膜的表面上镀覆金属锌薄膜,然后将镀覆有金属锌薄膜的电池基板表面用光辐照加热,其衬底背面用接触式热源或光辐照加热,固态硒源或/和硫源用接触式热源和光辐照协同方式加热,硒源或/和硫源的温度控制在160℃-280℃,硒或硫蒸气与锌薄膜之间用光辐射来催化其合成反应,锌薄膜的硒化或/和硫化处理温度控制在180℃-420℃,用时2-10min将锌转化成n型ZnSe或ZnS半导体薄膜材料,从而制成无Cd的CIGS薄膜太阳能电池用的缓冲层材料。
申请号为CN200510103413.3的专利涉及了一种无Cd的太阳能电池缓冲层的制备方法,此方法为先提供锌金属醇盐。然后,于锌金属醇盐中加入第一醇类溶液,形成一混合溶液。然后,在混合溶液中加入水,以进行水合反应,形成锌金属氧化物溶液。随后将锌金属氧化物溶液涂覆于基材上,进行硫化处理步骤或硒化处理步骤,以形成ZnS或ZnSe薄膜。该发明是以溶胶-凝胶(sol-gel)法形成无Cd的太阳能电池缓冲层,制备方法简易,且能够节省成本。然而,该方法制备 的薄膜可能掺入其它元素,薄膜质量有待提高。
申请号为CN201210050285的专利涉及了一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池缓冲层材料的制备方法,该方法采用硫酸锌溶液作为Zn2+源,以硫脲溶液作为S2-源,以氨水作为缓冲剂,以柠檬酸钠作为络合剂,配制化学浴反应的前驱物,在铜铟镓硒薄膜和普通玻璃衬底上制备粒径分布均匀、致密且附着力较好的Zn(O,S)半导体薄膜,作为铜铟镓硒薄膜太阳能电池的缓冲层;用Zn(O,S)替代CdS作为铜铟镓硒薄薄膜太阳能电池的缓冲层,不仅使铜铟镓硒薄薄膜太阳能电池的生产更环保、更经济,而且由于Zn(O,S)的带隙宽度比CdS的带隙宽度大,能使更多的入射光子通过缓冲层到达吸收层,提高电池的短路电流,有利于提高电池的光电转换效率。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的