[发明专利]一种电磁驱动微镜

权利要求书

1.一种电磁驱动微镜，包括微反射镜板，所述微反射镜板的中心设置有一反射镜面，其特征在于：所述微反射镜板的边缘部设置有至少一闭合环状的驱动线圈，两端则分别通过一扭转梁与一支撑框架连接，所述支撑框架两侧分别设有至少一永磁磁铁，在所述驱动线圈被通入电流后，所述微反射镜板可在驱动线圈与永磁磁铁相互作用产生的电磁力驱动下绕扭转梁扭转。

2.根据权利要求1所述的电磁驱动微镜，其特征在于：所述的驱动线圈相对于扭转梁具有对称结构。

3.根据权利要求1所述的电磁驱动微镜，其特征在于：所述的驱动线圈在平行于扭转梁的方向上的长度大于反射镜面的长度。

4.根据权利要求1所述的电磁驱动微镜，其特征在于：所述的微反射镜板由上而下依次包括聚酰亚胺介质层、氧化硅介质层和硅基板；所述的驱动线圈设置于氧化硅介质层上。

5.根据权利要求4所述的电磁驱动微镜，其特征在于：所述的驱动线圈包括由聚酰亚胺介质层隔离的上层驱动线圈和下层驱动线圈,上层驱动线圈和下层驱动线圈之间设置有一个连接点。

6.根据权利要求1所述的电磁驱动微镜，其特征在于：所述的驱动线圈的材料为金。

7.根据权利要求1所述的电磁驱动微镜，其特征在于：所述的永磁磁铁为钕铁硼系磁材料。

8.根据权利要求1所述的电磁驱动微镜，其特征在于：扭转梁与微反射镜板以及支撑框架连接部采用过渡圆角结构。

9.根据权利要求1所述的电磁驱动微镜，其特征在于：所述的反射镜面为由反光金属材料制成的金属薄膜层。