[发明专利]基板翻转装置

说明书

技术领域

本发明涉及可以提高翻转基板的工序的可靠性的同时，能够削减成本的基板翻转装置。

背景技术

目前，对平板显示装置（Flat Panel Display Device）的需要逐渐增加，随之，LCD（Liquid Crystal Display：液晶显示）面板、PDP（Plasma Display Panel：等离子显示面板）、FED（Field Emission Display：场发射显示器）面板、OLED（Organic Light Emitting Diodes：有机发光二极管）面板及VFD（VacuumFluorescent Display：真空荧光显示）面板等的研究开发也非常活跃。

对LCD面板进行说明。

LCD面板是利用液晶的折射率的各向异性而在画面上显示信息的装置，其包括上部基板、下部基板及形成于上述上部基板和上述下部基板之间的液晶层。

上述下部基板是驱动元件阵列基板，在上述下部基板形成有多个像素，在上述各个像素上形成有薄膜晶体管等驱动元件。上述上部基板是彩色滤光片基板，其形成有用于体现实际颜色的彩色滤光层。

在上述上部基板及上述下部基板分别形成有像素电极及共同电极，并涂布有用于取向上述液晶层的液晶分子的取向膜。

上述的LCD面板，在上述上部基板和上述下部基板适当地执行驱动元件阵列工序、彩色滤光片工序及单元工序等之后，贴合上述上部基板和上述下部基板。因此，因LCD面板的工序特性，必须要翻转LCD面板。

现有的翻转LCD面板等基板的基板翻转装置包括：被支承于真空状态的腔室而设置成可旋转的旋转框架；固定在上述旋转框架的一侧的固定夹持部件；可升降地设置在上述旋转框架的另一侧并与上述固定夹持部件对置的升降夹持部件；使上述升降夹持部件升降的伸缩管。

上述伸缩管的一侧连接在上述升降夹持部件，另一侧与空气罐连通。由此，若被供给空气，上述伸缩管膨胀使上述升降夹持部件上升，若排出空气，则上述伸缩管收缩使上述升降夹持部件下降。

当基板被机械臂支承而位于上述固定夹持部件和上述升降夹持部件之间时，通过上述伸缩管的膨胀而使上述升降夹持部件上升。这样，基板被支承在上述固定夹持部件和上述升降夹持部件之间，在这种状态下，上述旋转框架旋转而使基板翻转。

上述的现有基板翻转装置中，上述伸缩管被设置在真空状态的腔室，所以腔室的压力从外侧向内侧作用于上述伸缩管。因此，为了使上述伸缩管膨胀，流入到上述伸缩管的内部的空气压力要大于上述腔室的压力。

因此，高压施加于上述伸缩管的内部，导致上述伸缩管容易被损伤。因此，具有基板翻转工序的可靠性下降的缺点，而且在上述伸缩管的维修上消耗很多时间和费用，导致成本上升。

在韩国公开特许公报10－2005－0097115号等公开了与基板翻转装置相关的现有技术。

发明内容

本发明是为了解决上述现有技术的问题而提出的，本发明的目的在于提供一种基板翻转装置，其能够防止伸缩管被损伤，提高使基板翻转的工序的可靠性的同时，能够削减成本。

为了实现上述目的，根据本发明的基板翻转装置包括：真空状态的主腔室；旋转框架，被上述主腔室支承并能够旋转；固定夹持部件，设置于上述旋转框架的一侧而与上述旋转框架一同旋转，并支承上述基板的一表面边缘部；升降夹持部件，设置在上述旋转框架的另一侧并与上述旋转框架一同旋转，设置成可升降并支承上述基板的另一表面边缘部，当设置于升降夹持部件与上述固定夹持部件之间的上述基板通过上述旋转框架的旋转而翻转时，与上述固定夹持部件协同工作而防止上述基板掉落；致动器，具有柱塞，该柱塞的一侧结合在上述升降夹持部件侧并进行直线运动，从而使上述升降夹持部件升降；及第一伸缩管，其一侧结合在上述升降夹持部件，另一侧结合在上述致动器，并包覆上述柱塞，随着上述柱塞的直线运动而进行伸缩。

根据本发明的基板翻转装置，通过致动器使升降夹持部件升降。因此，在使包覆并保护致动器的柱塞的第一伸缩管膨胀时，不需要向第一伸缩管的内部注入高压的空气。即，可以将第一伸缩管的内部维持大气压状态，所以在第一伸缩管作用相对小的压力。因此，可以防止第一伸缩管被损伤，提高用于翻转基板的工序的可靠性。

并且，柱塞被第一伸缩管包覆保护，因此可使用非真空使用致动器。因此，具有削减成本的效果。

附图说明

图1是表示根据本发明的一实施例的基板翻转装置的外观的立体图。

图2是表示图1所示的基板翻转装置的主腔室的内部结构的立体图。