[发明专利]有机层沉积装置、有机发光显示装置及其制造方法

权利要求书

1.一种用于在基底上形成有机层的有机层沉积装置，所述有机层沉积装置包括：

沉积源，用于排放沉积材料；

沉积源喷嘴单元，布置在沉积源的一侧并包括多个沉积源喷嘴；

图案缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地布置并包括多个图案缝隙；

静电吸盘，基底能够附于静电吸盘并能够从静电吸盘拆卸；

吸盘移动构件，与静电吸盘组合并被构造为使静电吸盘移动；以及

引导构件，引导吸盘移动构件的移动，

其中，吸盘移动构件包括第一磁力发生器，

其中，引导构件包括与第一磁力发生器对应的第二磁力发生器，

其中，吸盘移动构件由于在第一磁力发生器和第二磁力发生器产生的磁力而能够在引导构件上移动，

其中，基底与图案缝隙片分隔开，并且基底和图案缝隙片中的至少一个能够相对于另一个移动，以及

其中，图案缝隙片在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上小于基底，

其中，第一磁力发生器中的每个包括：

多个磁辊；

轴，连接所述多个磁辊；和

轴固定单元，将轴固定在吸盘移动构件上，以使轴绕着沿轴的长度方向延伸的轴旋转，

其中，第二磁力发生器中的每个包括位于引导构件的表面上的包括多个第二磁体的磁体轨道，所述多个磁辊与磁体轨道分隔开，

其中，当磁辊旋转时，磁辊产生的第一电场螺旋移动以使吸盘移动构件在各包括磁体轨道的引导构件上移动。

2.根据权利要求1所述的有机层沉积装置，其中，所述多个磁辊中的每个包括沿轴的长度方向螺旋缠绕的多个第一磁体。

3.根据权利要求2所述的有机层沉积装置，其中，在所述多个磁辊中的每个中，所述多个第一磁体中的相邻的第一磁体具有不同的极性。

4.根据权利要求1所述的有机层沉积装置，其中，在磁体轨道中，所述多个第二磁体布置成行，并且所述多个第二磁体中的相邻的第二磁体具有不同的极性。

5.根据权利要求1所述的有机层沉积装置，其中，所述多个第二磁体包括电磁体、永磁体或超导磁体。

6.根据权利要求1所述的有机层沉积装置，其中，第一磁力发生器中的每个还包括用于使轴旋转的驱动单元。

7.根据权利要求6所述的有机层沉积装置，其中，驱动单元位于吸盘移动构件中的每个上，并且与相应的吸盘移动构件一起在相应的引导构件上移动。

8.根据权利要求1所述的有机层沉积装置，所述有机层沉积装置还包括位于每个吸盘移动构件与相应的引导构件之间的线性运动引导件。

9.根据权利要求8所述的有机层沉积装置，其中，线性运动引导件中的每个包括：

引导块，位于吸盘移动构件中的相应的吸盘移动构件上；

引导轨道，位于引导构件中的相应的引导构件上，

其中，引导块能够在引导轨道上移动。

10.根据权利要求1所述的有机层沉积装置，所述有机层沉积装置还包括：

装载单元，用于将基底附于静电吸盘上；和

卸载单元，用于从静电吸盘拆卸已经执行过沉积的基底。

11.根据权利要求1所述的有机层沉积装置，其中，沉积源喷嘴单元包括沿一个方向布置的多个沉积源喷嘴，并且图案缝隙片的所述多个图案缝隙沿垂直于所述一个方向的另一方向布置。

12.一种制造有机发光显示装置的方法，所述方法包括：

将基底固定在静电吸盘上；

将静电吸盘与吸盘移动构件组合；

通过使吸盘移动构件在引导构件上移动来将静电吸盘移动到室中；以及

通过使均布置在室中的基底和有机层沉积组件中的至少一个相对于另一个移动来在基底上形成有机层，

其中，吸盘移动构件由于磁力而在引导构件上移动，

其中，基底与有机层沉积组件分隔开，以及

其中，有机层沉积组件的图案缝隙片在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上小于基底，

其中，吸盘移动构件包括第一磁力发生器，

其中，引导构件包括与第一磁力发生器对应的第二磁力发生器，

其中，第一磁力发生器中的每个包括：

多个磁辊；

轴，连接所述多个磁辊；和

轴固定单元，将轴固定在吸盘移动构件上，以使轴绕着沿轴的长度方向延伸的轴旋转，

其中，第二磁力发生器中的每个包括位于引导构件的表面上的包括多个磁体的磁体轨道，所述多个磁辊与磁体轨道分隔开，

其中，当磁辊旋转时，磁辊产生的第一电场螺旋移动以使吸盘移动构件在各包括磁体轨道的引导构件上移动。