[发明专利]有机层沉积装置、有机发光显示装置及其制造方法有效
申请号: | 201210518563.0 | 申请日: | 2012-12-05 |
公开(公告)号: | CN103160789B | 公开(公告)日: | 2017-06-09 |
发明(设计)人: | 金东昱 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/04;H01L51/56 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人: | 王占杰,薛义丹 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 沉积 装置 发光 显示装置 及其 制造 方法 | ||
本申请要求于2011年12月16日在韩国知识产权局提交的第10-2011-0136558号韩国专利申请的优先权和权益,该申请的全部内容通过引用包含于此。
技术领域
本发明的实施例的多个方面涉及一种有机层沉积装置、一种通过使用该有机层沉积装置制造有机发光显示装置的方法以及一种有机发光显示装置。
背景技术
与其它显示装置相比,有机发光显示装置具有更大的视角、更好的对比度性能和更快的响应速度,因此有机发光显示装置作为下一代显示装置而备受关注。
通常,有机发光显示装置具有堆叠结构,该堆叠结构包括阳极、阴极及置于阳极和阴极之间的发射层。当分别从阳极和阴极注入的空穴和电子在发射层复合而因此发射光时,该装置显示彩色图像。然而,使用这种结构难以实现高的发光效率。因此,可在发射层和每个电极之间额外地设置包括电子注入层、电子传输层、空穴传输层、空穴注入层等的中间层。
发明内容
根据本发明实施例的多个方面,有机层沉积装置易于制造,并且该有机层沉积装置可简单应用于大规模制造大尺寸的显示装置,提高生产产率和沉积效率,并且具有改进的基底传送的精确度。根据本发明实施例的另外方面,提供了一种通过利用上述的有机层沉积装置制造的有机发光显示装置的制造方法以及一种有机发光显示装置。
根据本发明的实施例,一种用于在基底上形成有机层的有机层沉积装置包括:沉积源,用于排放沉积材料;沉积源喷嘴单元,布置在沉积源的一侧并包括多个沉积源喷嘴;图案缝隙片,与沉积源喷嘴单元相对地布置并包括多个图案缝隙;静电吸盘,基底能够附于静电吸盘并能够从静电吸盘拆卸;吸盘移动构件,与静电吸盘组合并被构造为使静电吸盘移动;以及引导构件,引导吸盘移动构件的移动。吸盘移动构件包括第一磁力发生器。引导构件包括与第一磁力发生器对应的第二磁力发生器。吸盘移动构件由于第一磁力发生器和第二磁力发生器产生的磁力而能够在引导构件上移动。基底与图案缝隙片分隔开,并且基底和图案缝隙片中的至少一个能够相对于另一个移动。图案缝隙片在第一方向或垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上小于基底。
第一磁力发生器中的每个可包括位于吸盘移动构件中的一个吸盘移动构件的表面上的多个磁体。
在磁体轨道中,磁体可沿布置成行并且所述多个磁体中的相邻的磁体具有不同的极性。
所述多个磁体可包括电磁体、永磁体或超导磁体。
第二磁力发生器中的每个可包括:多个磁辊,与磁体轨道分隔开;轴,连接所述多个磁辊;以及轴固定单元,将轴固定在引导构件上,以使轴绕着沿轴的长度方向延伸的轴旋转。
所述多个磁辊可包括沿轴的长度方向螺旋缠绕的多个磁体。
在所述多个磁辊中,相邻的磁体可具有不同的极性。
当磁辊旋转时,磁辊产生的第一磁场可改变,以使吸盘移动构件在引导构件上移动,吸盘移动构件均包括磁体轨道。
第二磁力发生器中的每个还可包括用于使轴旋转的驱动单元。
第一磁力发生器中的每个可包括:多个磁辊;轴,连接所述多个磁辊;以及轴固定单元,将轴固定在引导构件上,以使轴绕着沿轴的长度方向延伸的轴旋转。
所述多个磁辊可包括沿轴的长度方向螺旋缠绕的多个磁体。
在所述多个磁辊中,相邻的磁体可具有不同的极性。
第二磁力发生器中的每个可包括位于吸盘移动构件的表面上的多个磁体,所述多个磁辊与磁体轨道分隔开。
在磁铁轨道中,磁体可沿布置成行,并且所述多个磁体中的相邻的磁体可具有不同的极性。
所述多个磁体可包括电磁体、永磁体或超导磁体。
当磁辊旋转时,磁辊产生的第一磁场可改变第二磁场,第二磁场可改变,成使吸盘移动构件在引导构件上移动,吸盘移动构件均包括磁体轨道。
第一磁力发生器中的每个还可包括用于使轴旋转的驱动单元。
驱动单元可位于吸盘移动构件的每个上,并且与相应的吸盘移动构件一起在相应的引导构件上移动。
所述有机层沉积装置还可包括位于吸盘移动构件中的每个与引导构件中的相应的引导构件之间的线性运动(LM)引导件。
LM引导件中的每个可包括:引导块,位于吸盘移动构件中的相应的吸盘移动构件上;引导轨道,位于引导构件中的相应的引导构件上,引导块可在引导轨道上可移动。
所述有机层沉积装置还可包括:装载单元,用于将基底附于静电吸盘上;以及卸载单元,用于从静电吸盘拆卸已经执行过沉积的基底。
图案缝隙片可小于基底。
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