[发明专利]致动器、机械手、机器人、电子部件输送装置及检查装置

权利要求书

1.一种致动器，其特征在于，

该致动器具备：

压电元件，该压电元件以纵向振动模式与弯曲振动模式被激振而振动；

被驱动体，该被驱动体与所述压电元件所具备的接触部接触，并通过所述接触部的振动而被驱动；

保持部，该保持部保持所述压电元件；以及

基台，该基台具有对所述保持部朝所述被驱动体侧施力的施力机构，

其中，

所述保持部配置在与所述压电元件的振动面交差的方向，且具有第一支承部和第二支承部，所述第一支承部配置于所述压电元件的一侧，所述第二支承部隔着所述压电元件与所述第一支承部对置、且配置于所述压电元件的另一侧。

2.根据权利要求1所述的致动器，其特征在于，

所述压电元件的由所述第一支承部与所述第二支承部支承的支承区域至少包含一个振动的节点，该振动的节点是所述压电元件的所述纵向振动模式的振动的节点、且是所述弯曲振动模式的振动的节点。

3.根据权利要求1或2所述的致动器，其特征在于，

所述第一支承部及所述第二支承部中的至少一方包含缓冲部。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的致动器，其特征在于，

所述第一支承部及所述第二支承部中的至少一方包含弹性部。

5.一种机械手，其特征在于，

该机械手具备权利要求1~4中任一项所述的致动器。

6.一种机器人，其特征在于，

该机器人具备权利要求1~4中任一项所述的致动器、或权利要求5中所述的机械手。

7.一种电子部件输送装置，其特征在于，

该电子部件输送装置具备权利要求1~4中任一项所述的致动器。

8.一种电子部件检查装置，其特征在于，

该电子部件检查装置具备权利要求1~4中任一项所述的致动器、或权利要求7中所述的电子部件输送装置。

9.一种打印机，其特征在于，

该打印机具备权利要求1~4中任一项所述的致动器。

10.一种致动器，其特征在于，

该致动器具备：

压电元件；

第一支承部，该第一支承部配置于所述压电元件的一个面，并支承所述压电元件；以及

第二支承部，该第二支承部配置于所述压电元件的与一个面相反的一侧的另一个面，并支承所述压电元件，

所述一个面及所述另一个面包含所述压电元件进行弯曲振动的方向。

11.一种机械手，其特征在于，

该机械手具备：

指部；

关节部，该关节部连结所述指部；

压电元件，该压电元件配置于所述关节部；

第一支承部，该第一支承部配置于所述压电元件的一个面，并支承所述压电元件；以及

第二支承部，该第二支承部配置于所述压电元件的与一个面相反的一侧的另一个面，并支承所述压电元件，

所述一个面及所述另一个面包含所述压电元件进行弯曲振动的方向。

12.一种机器人，其特征在于，

该机器人具备权利要求11所述的机械手。

13.一种电子部件输送装置，其特征在于，

该电子部件输送装置具备权利要求10所述的致动器。