[发明专利]致动器、机械手、机器人、电子部件输送装置及检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及致动器、机械手、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置及打印机。

背景技术

作为现有的致动器的驱动方法，公知有如下的方法：以两种振动模式对压电体进行激振、使压电体的端部所具备的突起具有椭圆轨道、从而朝规定的方向驱动与突起部接触的被驱动部。在该致动器中，为了对压电体朝被驱动体侧施力，在保持壳体内经由弹性部件推压并保持压电体的振动面的侧面侧，并利用施力机构朝被驱动体的方向对保持壳体施力，由此对压电体朝被驱动体侧施力（专利文献1、2）。或者，还公开有如下结构：对夹持压电体的外缘部的一部分、并保持压电体的保持壳体朝被驱动体侧施力，从而对压电体朝被驱动体侧施力（专利文献3）。

专利文献1:国际公开第2007／80851号小册子

专利文献2:国际公开第2008／93799号小册子

专利文献3:日本特开2007－189900号公报

但是，在上述专利文献1、2中，由于相对于压电体的振动方向、特别是相对于弯曲振动以限制振动的方式配置保持压电体的弹性部件，存在压电体的振动通过弹性部件泄漏到保持壳体、被驱动体的驱动能量大量损失的顾虑。并且，在专利文献3中，存在发生来自保持压电体的保持壳体的引导部的振动泄漏，被驱动体的驱动能量大量损失的顾虑。

因此，提供如下致动器：将压电体保持于保持壳体，抑制压电体的振动向保持壳体泄漏，切实地将压电体的振动转换为被驱动体的驱动。

发明内容

为了解决上述课题，能够以下述方式或应用例实现本发明。

〔应用例1〕本应用例的致动器的特征在于，具备：压电元件，该压电元件以纵向振动模式与弯曲振动模式被激振而振动；被驱动体，该被驱动体与所述压电元件所具备的接触部接触，并通过所述接触部的振动而被驱动；保持部，该保持部保持所述压电元件；以及基台，该基台具有对所述保持部朝所述被驱动体侧施力的施力机构，所述保持部配置在与所述压电元件的振动面交差的方向，且具有第一支承部和第二支承部，所述第一支承部配置于所述压电元件的一侧，所述第二支承部隔着所述压电元件与所述第一支承部对置、且配置于所述压电元件的另一侧。

根据本应用例的致动器，通过具备从与包含振动方向的振动面交差的方向对压电元件施力以夹持该压电元件的第一支承部、第二支承部，由于不对振动进行约束，因此能够抑制压电元件的振动向保持部泄漏的情况，并能获得高效的驱动。由此，压电元件的振动使接触部产生摆动，并能转换为与接触部抵接的被驱动体的旋转或直线运动，而毫无浪费。即，能够获得高驱动效率的致动器。

〔应用例2〕在上述应用例的基础上，应用例2的特征在于，所述压电元件的由第一支承部与第二支承部支承的支承区域至少包含一个振动的节点，该振动的节点是所述压电元件的所述纵向振动模式的振动的节点、且是所述弯曲振动模式的振动的节点。

根据上述应用例，通过将第一支承部及第二支承部的配置设置在包含压电元件的振动的节点的区域，由于该区域是压电元件的振动面上的、由振动所引发的移动量少的区域、即振幅小的区域，因此能够进一步抑制向保持壳体20的振动泄漏。

〔应用例3〕在上述应用例的基础上，应用例3的特征在于，所述第一支承部及所述第二支承部中的至少一方包含缓冲部。

根据上述应用例，通过具备在与振动面交差的方向夹持压电元件的、包含缓冲材料的第一支承部、第二支承部，能够抑制压电元件的振动向保持部泄漏。由此，压电元件的振动使接触部产生摆动，并转换为与接触部抵接的被驱动体的旋转或直线运动，而毫无浪费。即，能够获得高驱动效率的致动器。并且，作为振动位移，缓冲材料允许振动面方向的振动，由此能够维持驱动被驱动体所需的振动。此外，虽然在包含节点的区域也分布有振动位移，但通过允许该振动位移，能够维持驱动被驱动体所需的振动。即，能够获得高驱动效率的致动器。

〔应用例4〕在上述应用例的基础上，应用例4的特征在于，所述第一支承部及所述第二支承部中的至少一方包含弹性部。

根据上述应用例，通过在第一支承部及第二支承部中的至少任一方配置弹性部件，能够借助相对于弹性部件的弹力的、保持部件与压电元件之间的摩擦力抑制由振动所引起的保持部件与压电元件之间的相对错位。

〔应用例5〕本应用例的机械手具备上述应用例所涉及的致动器。

对于本应用例的机械手，即便为了增加动作的自由度而具备多台马达，与使用电磁式马达等的情况相比，也能够实现小型化、轻量化。