[发明专利]一种制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具及其使用方法有效
申请号: | 201210525031.X | 申请日: | 2012-12-10 |
公开(公告)号: | CN103866228B | 公开(公告)日: | 2018-04-27 |
发明(设计)人: | 魏志凌;高小平;王海峰;杨志龙 | 申请(专利权)人: | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;H01L51/56 |
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地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 制作 大面积 蒸镀用掩 模板 辅助 及其 使用方法 | ||
1.一种制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具,包括边框架及在所述边框架上的开口,其特征在于,所述边框架包括两组相对共四条对边并在四条对边中央形成中空区域,所述开口为位于四条所述对边上的长条开口或离散开口;所述对边由内边和外边构成,所述开口位于所述内边和所述外边之间。
2.根据权利要求1所述的制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具,其特征在于,所述边框架是一体成型结构或四条独立所述对边拼接形成的结构。
3.根据权利要求2所述的制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具,其特征在于,所述对边拼接形成的结构为铆接或粘结或螺钉连接结构。
4.根据权利要求1所述的制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具,其特征在于,所述制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具还包括与内边框相连的横梁和竖梁。
5.根据权利要求4所述的制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具,其特征在于,所述横梁和所述竖梁相互垂直。
6.一种如权利要求1所述制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具的使用方法,其特征在于,包括:
S1:对位步骤,将掩模板贴紧放置在所述辅助治具表面,将所述掩模板的图形区域对应所述辅助治具上的所述中空区域以及将所述掩模板的边孔区域对应所述辅助治具上的所述长条开口或所述离散开口,并确认所述掩模板图形区域和所述边孔区域不被遮挡;
S2:固定步骤,将所述掩模板的四边紧密连接在所述辅助治具的所述外边上。
7.根据权利要求6所述的制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具的使用方法,其特征在于,所述辅助治具使用方法还包括在对位步骤之后且固定步骤之前的绷紧步骤,所述绷紧步骤中,将所述掩模板四边施力使所述掩模板表面平整。
8.根据权利要求6所述的制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具的使用方法,其特征在于,所述固定步骤中,所述连接是使用粘结部件进行连接或使用固体连接部件进行连接。
9.根据权利要求6所述的制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具的使用方法,其特征在于,所述对位步骤中,将所述掩模板和所述辅助治具一对一进行对位,或是所述掩模板和所述辅助治具一对二进行对位,即将所述掩模板置于两块所述辅助治具之间。
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