[发明专利]正型感光性树脂组合物及其应用有效

专利信息
申请号: 201210528013.7 申请日: 2012-12-10
公开(公告)号: CN103176364A 公开(公告)日: 2013-06-26
发明(设计)人: 陈凯民;施俊安 申请(专利权)人: 奇美实业股份有限公司
主分类号: G03F7/039 分类号: G03F7/039;H01L21/77;H01L27/12;G02F1/1368
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 韩蕾
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 及其 应用
【权利要求书】:

1.一种正型感光性树脂组合物,其包含:

酚醛清漆树脂(A);

邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B);

染料(C);及

溶剂(D);

其中所述染料(C)包含染料(C-1)及染料(C-2),且所述染料(C-1)是选自由双偶氮系染料、蒽醌系染料及三价铬偶氮系染料所组成的群;及所述染料(C-2)为三芳甲烷系染料。

2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,其中所述酚醛清漆树脂(A)包含高邻位酚醛清漆树脂(A-1),其中该高邻位酚醛清漆树脂(A-1)包含18至25%亚甲基键结于邻位-邻位上。

3.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,其中所述染料(C-2)具有下列通式(1)或式(2)所示的结构式或其盐类:

式(1)中:

R1及R2是独立选自由氢原子、卤素原子及具1至5个碳数的烷基所组成的群;

R3、R4、R5及R6是独立选自由氢原子、具1至5个碳数的烷基、苯基及芐基所组成的群;及

R7是选自由通式(3)、通式(4)及通式(5)所组成的群;

其中:

R8至R10是选自由氢原子及-NR25R26所组成的群;

其中:

R25及R26是独立选自由氢原子、具1至5个碳数的烷基、芐基、苯基及p位包含具1至3个碳数的烷基或具1至3个碳数的烷氧基取代的苯基所组成的群;及

R11至R16是独立选自由氢原子、羟基及-SO3-所组成的群;

式(2)中:

R21及R22是独立选自由氢原子、卤素原子及具1至5个碳数的烷基所组成的群;及

R23是选自由氢原子、-SO3-、羧基、具1至3个碳数的烷基、具1至3个碳数的烷氧基及-NR25R26所组成的群;及

R24是选自由氢原子及-SO3-所组成的群。

4.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,其中基于酚醛清漆树脂(A)的使用量为100重量份,所述染料(C)的使用量为10至35重量份。

5.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,其中基于酚醛清漆树脂(A)的使用量为100重量份,所述染料(C-1)的使用量为2至15重量份;及所述染料(C-2)的使用量为1至10重量份。

6.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,其中所述染料(C)进一步包含染料(C-3),其中该染料(C-3)为酞菁系染料。

7.根据权利要求6所述的正型感光性树脂组合物,其中基于酚醛清漆树脂(A)的使用量为100重量份,所述染料(C-3)的使用量为5至30重量份。

8.一种薄膜晶体管阵列基板的制造方法,其中所述薄膜晶体管阵列基板包含基板及图案,该方法包含以根据权利要求1至7中任一项所述的正型感光性树脂组合物涂布于所述基板上以形成所述图案。

9.一种薄膜晶体管阵列基板,其是由根据权利要求8的方法所制得。

10.一种液晶显示元件,其包含根据权利要求9所述的薄膜晶体管阵列基板。

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