[发明专利]正型感光性树脂组合物及其应用

说明书

技术领域

本发明是有关一种正型感光性树脂组合物，具体而言，是有关一种经时安定性(经时稳定性)佳的正型感光性树脂组合物及其应用。

背景技术

近年来由于半导体及液晶显示器产业蓬勃发展，个人电脑及显示器的需求扩大，技术亦突飞猛进，导致高分辨率的要求日益提高。为了达到上述要求，一般是使用高邻位酚醛清漆树脂(high-ortho novolac resin)搭配感光剂做为正型感光性树脂组合物(例如日本公开特许2009-192571)。

而在半导体集成电路元件、薄膜晶体管(TFT)的液晶显示元件或触控面板的制作过程中，为提高良率，上述组合物通常可藉由调整感光剂的用量以得到较高的曝光宽容度(exposure latitude)，然而，往往却导致该感光性树脂组合物产生经时安定性劣化的问题。

有鉴于此，亟需提出一种正型感光性树脂组合物，藉以改善传统的正型感光性树脂组合物经时安定性不佳的缺点。

发明内容

本发明提供一种包含优异配方的正型感光性树脂组合物，其具有经时安定性佳的优点。

因此，本发明是有关一种正型感光性树脂组合物，其包含：

酚醛清漆树脂(A)；

邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)；

染料(C)；及

溶剂(D)；

其中所述染料(C)包含染料(C-1)及染料(C-2)，且所述染料(C-1)是选自由双偶氮系染料、蒽醌系染料及三价铬偶氮系染料所组成的群；及所述染料(C-2)为三芳甲烷系染料。

本发明亦提供一种薄膜晶体管阵列基板的制造方法，其中该薄膜晶体管阵列基板包含基板及图案，该方法包含以前述的正型感光性树脂组合物涂布于所述基板上以形成所述图案。

本发明再提供一种薄膜晶体管阵列基板，其是由前述的方法所制得。

本发明又提供一种液晶显示元件，其包含前述的薄膜晶体管阵列基板。

本发明是有关一种正型感光性树脂组合物，其包含：

酚醛清漆树脂(A)；

邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)；

染料(C)；及

溶剂(D)；

其中所述染料(C)包含染料(C-1)及染料(C-2)，且所述染料(C-1)是选自由双偶氮系染料、蒽醌系染料及三价铬偶氮系染料所组成的群；及所述染料(C-2)为三芳甲烷系染料。

本发明所述的酚醛清漆树脂(A)是指由芳香族羟基化合物及醛类，在盐酸、硫酸、甲酸、醋酸、草酸、对甲苯磺酸等已知的有机酸及/或无机酸的催化剂存在下，于常压下进行缩合反应，并经脱水及除去未反应的单体类而得。

于本发明的具体例中，所述芳香族羟基化合物为：苯酚(phenol)；间-甲酚(m-cresol)、对-甲酚(p-cresol)、邻-甲酚(o-cresol)等甲酚(cresol)类；2，3-二甲苯酚、2，5-二甲苯酚、3，5-二甲苯酚、3，4-二甲苯酚等二甲酚(xylenol)类；间-乙基苯酚、对-乙基苯酚、邻-乙基苯酚、2，3，5-三甲基苯酚、2，3，5-三乙基苯酚、4-叔丁基苯酚、3-叔丁基苯酚、2-叔丁基苯酚、2-叔丁基-4-甲基苯酚、2-叔丁基-5-甲基苯酚、6-叔丁基-3-甲基苯酚等烷基苯酚(alkyl phenol)类；对-甲氧基苯酚、间-甲氧基苯酚、对-乙氧基苯酚、间-乙氧基苯酚、对丙氧基苯酚、间-丙氧基苯酚等烷氧基苯酚(alkoxy phenol)类；邻-异丙烯基苯酚、对-异丙烯基苯酚、2-甲基-4-异丙烯基苯酚、2-乙基-4-异丙烯基苯酚等异丙烯基苯酚(isopropenyl phenol)类；苯基苯酚(phenyl phenol)之芳基苯酚(aryl phenol)类；4，4′-二羟基联苯、双酚A、间-苯二酚(resorcinol)、对-苯二酚(hydroquinone)、1，2，3-苯三酚(pyrogallol)等多羟基苯(polyhydroxyphenol)类等。上述化合物可单独一种使用或混合多种使用。其中，该芳香族羟基化合物较佳为邻-甲酚、间-甲酚、对-甲酚、2，5-二甲苯酚、3，5-二甲苯酚或2，3，5-三甲基苯酚。