[发明专利]检测方法及检测装置

权利要求书

1.一种检测方法，用于检测阵列基板，其特征在于，包括步骤：

扫描阵列基板的缺陷，确定所述缺陷的尺寸；

根据所述缺陷的尺寸，生成切换控制指令，将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率；

采用切换后的所述镜头拍摄所述缺陷。

2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率的步骤具体包括：

根据所述切换控制指令，控制镜头切换器移动，带动所述镜头切换器上的与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率所对应的镜头移动至所述缺陷上方。

3.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率的步骤具体包括：

根据所述切换控制指令，调整所述镜头的放大倍率，使所述镜头的放大倍率与所述缺陷尺寸相适应。

4.根据权利要求1至3任一项所述的检测方法，其特征在于，所述根据缺陷的尺寸，生成切换控制指令，将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率的步骤具体包括：

确定所述缺陷的尺寸所在的预设尺寸范围；

根据所述预设尺寸范围，生成对应的切换控制指令；

将镜头切换至与所述预设尺寸范围对应的放大倍率。

5.根据权利要求4所述的检测方法，其特征在于，所述将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率的步骤具体包括：

当所述缺陷的尺寸大于或等于100μm时，将镜头切换至5倍放大倍率；

当所述缺陷的尺寸大于20μm且小于100μm时，将镜头切换至10倍放大倍率；

当所述缺陷的尺寸小于或等于20μm时，将镜头切换至50倍放大倍率。

6.一种检测装置，用于检测阵列基板，其特征在于，包括光学扫描仪、镜头切换器和镜头，所述光学扫描仪用于扫描阵列基板的缺陷，确定所述缺陷的尺寸；所述镜头切换器用于根据所述缺陷的尺寸，生成切换控制指令，并根据切换控制指令控制所述镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率，并控制切换后的所述镜头拍摄所述缺陷。

7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述镜头切换器用于根据所述切换控制指令移动，带动所述镜头切换器上的与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率所对应的镜头移动至所述缺陷上方。

8.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述镜头切换器用于根据所述切换控制指令调整所述镜头的放大倍率，使所述镜头的放大倍率与所述缺陷尺寸相适应。

9.根据权利要求6至8任一项所述的检测装置，其特征在于，所述镜头切换器具体包括：

尺寸范围确定单元，用于确定所述缺陷的尺寸所在的预设尺寸范围；

切换控制指令生成单元，用于根据所述预设尺寸范围，生成对应的切换控制指令；

放大倍率切换单元，用于将镜头切换至与所述预设尺寸范围对应的放大倍率。

10.根据权利要求9所述的检测装置，其特征在于，所述放大倍率切换单元进一步用于：

当所述缺陷的尺寸大于或等于100μm时，将镜头切换至5倍放大倍率；

当所述缺陷的尺寸大于20μm且小于100μm时，将镜头切换至10倍放大倍率；

当所述缺陷的尺寸小于或等于20μm时，将镜头切换至50倍放大倍率。