[发明专利]检测方法及检测装置

说明书

技术领域

本发明涉及到检测技术领域，特别涉及用于液晶面板制程中阵列基板的检测方法及检测装置。

背景技术

阵列基板是液晶面板的重要元件之一，在阵列基板的制程中，需要采用自动光学检测（Automatic Optic Inspection，AOI）系统对阵列基板进行检测。自动光学检测系统是基于光学原理来对阵列基板进行检测，其通过光学扫描装置自动扫描阵列基板，采集图像，检查出阵列基板上缺陷，并通过显示器或自动标志把缺陷显示或标示出来，供维修人员修复。目前常用的检测装置仅具有单一倍率的扫描镜头，在检测时通常采用该扫描镜头对阵列基板进行扫描拍照，当遇到的瑕疵太大时，超出了扫描视野，无法完整清晰的显示缺陷的图像；或当拍摄到的瑕疵部分太小时，所呈现的缺陷图像看不清缺陷，导致无法判断出正确的缺陷类型。

发明内容

本发明的主要目的为提供一种可根据基板缺陷尺寸调整拍摄视野的检测方法和装置。

本发明提出一种检测方法，用于检测阵列基板，包括步骤：

扫描阵列基板的缺陷，确定所述缺陷的尺寸；

根据所述缺陷的尺寸，生成切换控制指令，将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率；

采用切换后的所述镜头拍摄所述缺陷。

优选地，所述将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率的步骤具体包括：

根据所述切换控制指令，控制镜头切换器移动，带动所述镜头切换器上的与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率所对应的镜头移动至所述缺陷上方。

优选地，所述将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率的步骤具体包括：

根据所述切换控制指令，调整所述镜头的放大倍率，使所述镜头的放大倍率与所述缺陷尺寸相适应。

优选地，所述根据缺陷的尺寸，生成切换控制指令，将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率的步骤具体包括：

确定所述缺陷的尺寸所在的预设尺寸范围；

根据所述预设尺寸范围，生成对应的切换控制指令；

将镜头切换至与所述预设尺寸范围对应的放大倍率。

优选地，所述将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率的步骤具体包括：

当所述缺陷的尺寸大于或等于100μm时，将镜头切换至5倍放大倍率；

当所述缺陷的尺寸大于20μm且小于100μm时，将镜头切换至10倍放大倍率；

当所述缺陷的尺寸小于或等于20μm时，将镜头切换至50倍放大倍率。

本发明还提出一种检测装置，用于检测阵列基板，包括光学扫描仪、镜头切换器和镜头，所述光学扫描仪用于扫描阵列基板的缺陷，确定所述缺陷的尺寸；所述镜头切换器用于根据所述缺陷的尺寸，生成切换控制指令，并根据切换控制指令控制所述镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率，并控制切换后的所述镜头拍摄所述缺陷。

优选地，所述镜头切换器用于根据所述切换控制指令移动，带动所述镜头切换器上的与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率所对应的镜头移动至所述缺陷上方。

优选地，所述镜头切换器用于根据所述切换控制指令调整所述镜头的放大倍率，使所述镜头的放大倍率与所述缺陷尺寸相适应。

优选地，所述镜头切换器具体包括：

尺寸范围确定单元，用于确定所述缺陷的尺寸所在的预设尺寸范围；

切换控制指令生成单元，用于根据所述预设尺寸范围，生成对应的切换控制指令；

放大倍率切换单元，用于将镜头切换至与所述预设尺寸范围对应的放大倍率。

优选地，所述放大倍率切换单元进一步用于：

当所述缺陷的尺寸大于或等于100μm时，将镜头切换至5倍放大倍率；

当所述缺陷的尺寸大于20μm且小于100μm时，将镜头切换至10倍放大倍率；

当所述缺陷的尺寸小于或等于20μm时，将镜头切换至50倍放大倍率。

本发明通过对扫描到的缺陷尺寸进行分析，根据缺陷尺寸切换拍摄镜头，确保切换后的镜头能够拍摄到清晰、完整的缺陷图片，有利于对缺陷类型进行分析，有效提升了对缺陷的分析准确率。

附图说明

图1为本发明检测方法的第一实施例的流程图；

图2为本发明检测方法的第二实施例的流程图；

图3为本发明检测方法的第三实施例的流程图；

图4为本发明检测方法的第四实施例的流程图；

图5为本发明检测方法的第五实施例的流程图；

图6为本发明检测装置的第一实施例的结构示意图；