[发明专利]一种太阳能电池的制绒方法

权利要求书

1.一种太阳能电池的制绒方法，将基片放置于等离子体处理腔室中进行制程，其中，所述制绒方法包括：

向腔室内部通入反应气体和侧壁保护气体；

同时对所述基片表面进行刻蚀和侧壁保护，并在上述制程中施加脉冲式偏置射频电压，以形成绒面。

2.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，所述反应气体包括SF₆、CF₄、NF₃、SiF₄、CF₃Br、Cl₂。

3.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，所述侧壁保护气体包括O₂、N₂O、O₃。

4.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，所述方法还包括如下步骤：向腔室内部通入调制气体。

5.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，所述调制气体包括CHF₃。

6.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，所述脉冲频率小于50khz。

7.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，所述脉冲式偏置射频电压的占空比为10%~90%。

8.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，所述等离子体处理腔室的射频功率源频率为10mhz~120mhz。

9.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，所述脉冲式偏置射频电压包括多个功率级。

10.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，所述脉冲式偏置射频电压包括两个功率级。