[发明专利]电子回旋共振加热系统真空抽气波导

权利要求书

1.一种电子回旋共振加热系统真空抽气波导，包括两个波纹波导(1、3)、一个波导套管(2)及一个真空抽口(4)；其特征在于：两个波纹波导(1、3)分别与传输系统的传输线相连，二者通过波导套管(2)同轴定位组成一个整体，二者之间留有一定间隙；波导套管(2)设有真空抽口(4)，真空抽口(4)连接真空抽气机组，用于传输系统的真空抽气。

2.根据权利要求1所述的电子回旋共振加热系统真空抽气波导，其特征在于：所述两个波纹波导(1、3)采用正弦波纹结构设计，波纹波导(1、3)内壁为光滑曲面。

3.根据权利要求2所述的电子回旋共振加热系统真空抽气波导，其特征在于：所述两个波纹波导(1、3)的波纹深度为传输系统内微波波长的1/4倍。

4.根据权利要求3所述的电子回旋共振加热系统真空抽气波导，其特征在于：所述两个波纹波导(1、3)的波纹深度为0.54mm。

5.根据权利要求1或2所述的电子回旋共振加热系统真空抽气波导，其特征在于：综合考虑真空抽口(4)的横截面积、真空抽气机组的抽速、微波功率损耗，确定波导套管(2)内两个波纹波导(1、3)的间隙。

6.根据权利要求5所述的电子回旋共振加热系统真空抽气波导，其特征在于：波导套管(2)内两个波纹波导(1、3)的间隙为5mm。

7.根据权利要求1或2所述的电子回旋共振加热系统真空抽气波导，其特征在于：电子回旋共振加热系统真空抽气波导还包括水冷结构，用于部件冷却。

8.根据权利要求1或2所述的电子回旋共振加热系统真空抽气波导，其特征在于：所述真空抽口(4)采用标准KF快接抽口。

9.根据权利要求1或2所述的电子回旋共振加热系统真空抽气波导，其特征在于：电子回旋共振加热系统真空抽气波导采用硬铝材料。

10.根据权利要求1或2所述的电子回旋共振加热系统真空抽气波导，其特征在于：所述波纹波导(1、3)及真空抽口4通过焊接的方式与波导套管(2)相连。