[发明专利]液体喷出头的制造方法

权利要求书

1.一种液体喷出头的制造方法，所述液体喷出头包括具有能量产生元件的基板以及壁构件，所述壁构件与所述基板接合以形成喷出液体的喷出口和与所述喷出口相连通的流路，所述方法以如下顺序包括以下步骤：

步骤(B)在所述基板上形成用于形成所述流路的流路图案形成体；

步骤(C)在所述流路图案形成体的周围形成用于形成所述壁构件的覆盖树脂层；和

步骤(D)以与所述基板的表面形状的图案对应的方式将所述基板的表面形状转印至所述覆盖树脂层的表面。

2.根据权利要求1所述的液体喷出头的制造方法，其在所述步骤(B)之前进一步包括步骤(A)：通过将复制模具压在所述基板表面上来制造已转印了所述基板的表面形状的复制模具，

其中，所述步骤(D)包括以使转印至所述复制模具的图案与所述基板的表面形状的图案彼此对应的方式将所述复制模具压在所述覆盖树脂层的表面上的步骤。

3.根据权利要求2所述的液体喷出头的制造方法，其中所述步骤(B)以如下顺序包括以下步骤：在所述基板上形成流路图案层、以使转印至所述复制模具的图案与所述基板的表面形状的图案彼此对应的方式将所述复制模具压在所述流路图案层的表面上从而转印所述基板的表面形状、和通过在所述流路图案层上形成所述流路的图案来形成所述流路图案形成体。

4.根据权利要求3所述的液体喷出头的制造方法，其中在所述步骤(B)和所述步骤(D)至少之一中的压制所述复制模具的步骤包括以使转印至所述复制模具的图案与所述基板的表面形状的图案彼此对应的方式将所述基板的位置和所述复制模具的位置彼此对齐，从而将所述复制模具压在所述流路图案层的表面和所述覆盖树脂层的表面之一的步骤。

5.根据权利要求2所述的液体喷出头的制造方法，其中在所述步骤(D)中将所述复制模具压在所述覆盖树脂层的表面上所施加的压力等于在所述步骤(A)中将所述复制模具压在所述基板的表面上所施加的压力。

6.根据权利要求2所述的液体喷出头的制造方法，其中所述复制模具的材料的玻璃化转变点高于所述覆盖树脂层的材料的玻璃化转变点。

7.根据权利要求2所述的液体喷出头的制造方法，其中所述复制模具的材料为光固化性树脂和热固性树脂之一。

8.根据权利要求2所述的液体喷出头的制造方法，其中所述复制模具的材料为氟树脂。

9.根据权利要求1所述的液体喷出头的制造方法，其在步骤(D)之后进一步包括在所述覆盖树脂层中形成所述喷出口的步骤(E)。

10.根据权利要求1所述的液体喷出头的制造方法，其在步骤(C)和步骤(D)之间进一步包括在所述覆盖树脂层的表面上形成脱模层的步骤。

11.一种结构体的制造方法，所述结构体包括在基板上的树脂成型物，所述方法以如下顺序包括以下步骤：

在所述基板上形成用于形成所述树脂成型物的树脂层；和

以与所述基板的表面形状的图案对应的方式将所述基板的表面形状转印至所述树脂层的表面。

12.根据权利要求11所述的结构体的制造方法，其在形成所述树脂层的步骤之前进一步包括通过将所述复制模具压在所述基板的表面上来制造已转印了所述基板表面形状的复制模具的步骤，

其中将所述基板的表面形状转印至所述树脂层的表面的步骤包括以使转印至所述复制模具的图案与所述基板的表面形状的图案彼此对应的方式将所述复制模具压在所述树脂层的表面上的步骤。