[发明专利]被加工物的加工方法及激光加工装置

权利要求书

1.一种被加工物的加工方法，其特征在于：用来在被加工物上形成分割起点，且包括：

出射步骤，将光源所包含的振荡器振荡的振荡脉冲光在包含在所述光源内的放大器中放大，且使作为放大光的脉冲激光光束从所述光源出射；及

照射步骤，通过以与所述脉冲激光光束的各单位脉冲光相应的被照射区域离散地形成在所述被加工物的被加工面的方式对所述被加工物照射所述脉冲激光光束，而在所述被照射区域彼此之间发生所述被加工物的解理或裂开，由此，在所述被加工物上形成用于分割的起点；且

在所述出射步骤中，通过调整从所述放大器提取所述脉冲激光光束的提取时序，而使一个所述单位脉冲光作为以比所述单位脉冲光的出射周期短的时间间隔延迟的两束脉冲光从所述光源出射，另一方面，在所述照射步骤中，使所述两束脉冲光实质上照射至同一所述被照射区域。

2.根据权利要求1所述的被加工物的加工方法，其特征在于：

在所述出射步骤中，分成从所述放大器仅选取所述放大光的一部分的第一时间、及在所述第一时间经过后所述放大光的剩余部分在所述放大器中得到放大后的第二时间，从所述放大器提取所述放大光，由此使所述两束脉冲光从所述光源出射。

3.根据权利要求1所述的被加工物的加工方法，其特征在于：

在所述出射步骤中，使两束所述振荡脉冲光从所述振荡器振荡，在将k设为自然数时，使先振荡的所述振荡脉冲光的k次或k+1次放大光、及后振荡的所述脉冲光的k次放大光作为所述两束脉冲光依此顺序从所述光源出射。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的被加工物的加工方法，其特征在于：

通过调整从所述放大器提取所述脉冲激光光束的提取时序，而调整所述两束脉冲光的脉冲能量比。

5.一种激光加工装置，其特征在于，包括：

光源，出射激光光束；

载物台，将被加工物固定在基板上；且

通过使所述出射源与所述载物台相对移动，可使所述激光光束一面沿规定的加工预定线扫描一面照射至所述被加工物上；

所述出射源包括：

振荡器，振荡出脉冲光；

放大器，放大所述振荡器振荡的振荡脉冲光；且

使作为利用所述放大器而得的放大光的脉冲激光光束出射；

通过以与所述脉冲激光光束的各单位脉冲光相应的被照射区域离散地形成在所述被加工物的被加工面的方式对所述被加工物照射所述脉冲激光光束，而在所述被照射区域彼此之间发生所述被加工物的解理或裂开，由此，在所述被加工物上形成用于分割的起点；

通过调整从所述放大器提取所述脉冲激光光束的提取时序，而使一个所述单位脉冲光作为以比所述单位脉冲光的出射周期短的时间间隔延迟的两束脉冲光从所述光源出射，另一方面，使所述两束脉冲光实质上照射至同一所述被照射区域。

6.根据权利要求5所述的激光加工装置，其特征在于：

通过分成从所述放大器仅选取所述放大光的一部分的第一时间、及在所述第一时间经过后所述放大光的剩余部分在所述放大器中得到放大后的第二时间，从所述放大器提取所述放大光，而使所述两束脉冲光从所述光源出射。

7.根据权利要求5所述的激光加工装置，其特征在于：

使两束所述振荡脉冲光从所述振荡器振荡，在将k设为自然数时，使先振荡的所述振荡脉冲光的k次或k+1次放大光、及后振荡的所述脉冲光的k次放大光作为所述两束脉冲光依此顺序从所述光源出射。

8.根据权利要求5至7中任一项所述的激光加工装置，其特征在于：

通过调整从所述放大器提取所述脉冲激光光束的提取时序，而调整所述两束脉冲光的脉冲能量比。