[发明专利]被加工物的加工方法及激光加工装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种照射激光光束而加工被加工物的加工方法。

背景技术

作为照射脉冲激光光束(以下也简称为激光光束)而加工被加工物的技术(以下也简称为激光加工或激光加工技术)，已知如下方法：通过使脉冲宽度为psec(picosecond，皮秒)级的超短脉冲的激光光束一面扫描一面照射至被加工物的上表面，而在与各单位脉冲光相应的被照射区域之间依次发生被加工物的解理或裂开，从而形成作为在各被照射区域之间形成的解理面或裂开面的连续面的用于分割的起点(分割起点)(例如参照专利文献1)。

背景技术文献

专利文献

[专利文献1]日本专利特开2011-131256号公报

发明内容

[发明要解决的问题]

专利文献1中揭示的加工方法(解理/裂开加工)具体来说是如下方法：以4μm～50μm左右的间隔离散地照射具有100psec以下的脉冲宽度的单位脉冲光，而在各被照射区域的中心部分发生物质的变质、熔融、蒸发除去等，由此，使沿结晶面的解理/裂开(或为比这些更宏观的现象即龟裂)在被照射区域之间扩展。因此，无需在被照射区域进行多余的加工，倒是要求使解理/裂开确实地从被照射区域扩展。

例如在照射峰值功率密度较大且脉冲宽度较小的单位脉冲光的情况下，对被照射区域供给的能量过剩，而对被照射区域造成多余的损伤，另一方面，可能产生解理/裂开未适宜地扩展的情况。这是因为所照射的单位脉冲光的能量未能充分地用于解理/裂开的扩展。

本发明是鉴于所述课题而完成的，目的在于提供一种能量利用效率高且能够更确实地形成分割起点的激光加工方法及实现该激光加工方法的激光加工装置。

[解决问题的技术手段]

为了解决所述课题，技术方案1的发明是一种被加工物的加工方法，其特征在于：用来在被加工物上形成分割起点，且包括：出射步骤，将光源所包含的振荡器(oscillator)振荡的振荡脉冲光在包含在所述光源内的放大器中放大，且使作为放大光的脉冲激光光束从所述光源出射；及照射步骤，通过以与所述脉冲激光光束的各单位脉冲光相应的被照射区域离散地形成在所述被加工物的被加工面的方式对所述被加工物照射所述脉冲激光光束，而在所述被照射区域彼此之间发生所述被加工物的解理或裂开，由此，在所述被加工物上形成用于分割的起点；且在所述出射步骤中，通过调整从所述放大器提取所述脉冲激光光束的提取时序，而使一个所述单位脉冲光作为以比所述单位脉冲光的出射周期短的时间间隔延迟的两束脉冲光从所述光源出射，另一方面，在所述照射步骤中，使所述两束脉冲光实质上照射至同一所述被照射区域。

技术方案2的发明是根据技术方案1所述的被加工物的加工方法，其特征在于：在所述出射步骤中，通过分成从所述放大器仅选取所述放大光的一部分的第一时间、及在所述第一时间经过后所述放大光的剩余部分在所述放大器中得到放大后的第二时间，从所述放大器提取所述放大光，而使所述两束脉冲光从所述光源出射。

技术方案3的发明是根据技术方案1所述的被加工物的加工方法，其特征在于：在所述出射步骤中，使两束所述振荡脉冲光从所述振荡器振荡，在将k设为自然数时，使先振荡的所述振荡脉冲光的k次或k+1次放大光、及后振荡的所述脉冲光的k次放大光依此顺序作为所述两束脉冲光从所述光源出射。

技术方案4的发明是根据技术方案1至3中任一项所述的被加工物的加工方法，其特征在于：通过调整从所述放大器提取所述脉冲激光光束的提取时序，而调整所述两束脉冲光的脉冲能量比。

技术方案5的发明是一种激光加工装置，其特征在于包括：光源，出射激光光束；载物台，将被加工物固定在基板上；且通过使所述出射源与所述载物台相对移动，可使所述激光光束一面沿规定的加工预定线扫描一面照射至所述被加工物上；所述出射源包括：振荡器，振荡出脉冲光；放大器，放大所述振荡器振荡的振荡脉冲光；且使作为利用所述放大器而得的放大光的脉冲激光光束出射；通过以与所述脉冲激光光束的各单位脉冲光相应的被照射区域离散地形成在所述被加工物的被加工面的方式对所述被加工物照射所述脉冲激光光束，而在所述被照射区域彼此之间发生所述被加工物的解理或裂开，由此，在所述被加工物上形成用于分割的起点；通过调整从所述放大器提取所述脉冲激光光束的提取时序，而使一个所述单位脉冲光作为以比所述单位脉冲光的出射周期短的时间间隔延迟的两束脉冲光从所述光源出射，另一方面，使所述两束脉冲光实质上照射至同一所述被照射区域。