[发明专利]一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的方法及设备

说明书

技术领域

    本发明属于冶金提纯技术领域，特别涉及一种诱导反向凝固提纯多晶硅的方法，另外还涉及其设备。

背景技术

太阳能光伏产业的发展依赖于对硅原料的提纯，在对硅原料进行提纯的过程中，定向凝固方法对去除硅原料中分凝系数非常小的金属杂质至关重要，是目前太阳能级多晶硅提纯的最有效的方法之一，此外，定向凝固技术广泛应用于冶金提纯。定向凝固是采用强制的手段在熔体中形成特定方向的温度梯度，使温度低的部位的熔体结晶成核，成为熔体凝固的起点首先凝固，由于温度梯度的存在，熔体沿着热流相反的方向凝固，获得具有特定取向的柱状晶。定向凝固提纯是利用杂质元素在熔体与固体中的溶解度不同，在凝固过程中分凝系数较小的杂质元素被推向固液界面前沿，在熔体中不断富集，最后在铸锭的尾部凝固，将铸锭尾部切除，即可达到提纯的目的。

然而，铸锭在凝固尾声，杂质富集于坩埚顶部的熔体，在最后缓慢凝固过程中，杂质含量高的部位会向杂质含量低的部位扩散，使得硅纯度随着保温时间的延长而逐渐降低，这影响了提纯效果，且在这种情况下，切除的尾部废料高达25%~35%，即成品率仅为65-75%，而硅锭的硬度比较大，需要大功率切割设备才能将提纯的硅锭和尾部杂质含量高的铸锭尾料分离出来，目前一般使用线切割和金刚石锯带切割的方法进行切割，但是切割设备成本高，锯带消耗大，不利于工业化生产成本的降低，而国内鲜见富有成效的方法来方便尾料的去除。

发明内容

本发明目的是为克服以上不足，提出了一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的方法，在凝固尾声，使坩埚旋转并吹入一定量的高纯惰性气体，使熔硅在离心力及气流的双重作用下向坩埚侧壁聚集并迅速反向凝固，减少了杂质的反扩散，提高了铸锭的出成率，在凝固结束阶段实现杂质富集区的反向凝固和分离，另外还提出了该方法所采用的设备，该设备简单，操作简便，成本较低，且利于杂质含量高的铸锭尾料得到方便快捷地去除。

为实现上述目的所采用的技术方案是：一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的方法，其特征是：在真空环境中，将洗净的硅料加热到1450-1650℃至完全熔化形成硅熔体，保温后降温、垂直向下拉锭，进行定向凝固；待凝固完成80~90%时，转动坩埚使上层剩余硅熔体在离心力的作用下向坩埚侧壁聚集，同时向上层剩余硅熔体顶端中心吹入惰性气体，使上层剩余硅熔体在气流的作用下从坩埚中心向侧壁聚集并迅速反向凝固，最后在坩埚侧壁处完全凝固；待整个硅锭冷却后取出，去除坩埚侧壁凝固得到的上层铸锭，剩余的下层铸锭为高纯硅铸锭。

所述的一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的方法，其特征是：所采用方法的具体步骤如下：

第一步前处理：向坩埚中添加坩埚体积90~95%的洗净的硅料，之后开启真空泵组将真空腔室内的真空度抽到0.1-5Pa；

第二步熔炼、凝固：开启电源，利用感应线圈和石墨发热体将坩埚中的硅料加热到1450~1650℃至完全熔化成硅熔体，并在此温度下保温30~60min，垂直向下拉动水冷盘，使坩埚中的硅熔体以0.1-2mm/min的速度垂直向下匀速运动，进行拉锭，硅熔体由坩埚底部向顶部进行定向凝固，当硅熔体凝固到80~90%，转动水冷盘，使坩埚以30~50r/min的速率匀速转动，同时向上层剩余硅熔体顶端中心吹入惰性气体，上层剩余硅熔体在离心力和气流的双重作用下从坩埚中心向侧壁聚集并迅速反向凝固，最后在坩埚侧壁处完全凝固；

第三步后处理：停止加热，待整个硅锭冷却后取出，去除坩埚上层侧壁凝固得到的杂质富集的铸锭，剩余的下层铸锭为高纯硅铸锭，其纯度将达到99.99%-99.999%。 

所述硅料纯度为99.5%~99.9%。

所述惰性气体为高纯氩气或高纯氦气，其纯度为99.9%以上。

所述惰性气体吹入的速度为8-40m/s，吹入时的温度为5~15℃。

一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的方法所采用的设备，由真空腔室构成外壁，外壁上安装有真空管路，真空管路一端与真空泵组相连，其特征是：水冷盘活动安装于真空腔室底部，石墨板置于水冷盘顶端，石墨板上开有孔，石墨支柱一端通过孔与石墨板嵌套连接，另一端与石墨托盘嵌套连接，坩埚置于石墨托盘之上，石墨发热体套于坩埚外围且固定于真空腔室侧壁之上，碳毡保温桶套于石墨发热体之外且固定于真空腔室侧壁之上，碳毡保温盖上开有孔，且置于碳毡保温桶顶端，感应线圈套于碳毡保温桶之外，且固定于真空腔室侧壁之上，吹气管路活动安装于真空腔室顶端，吹气管路的吹气口位于坩埚正上方中心位置。

所述石墨板上的孔至少为3个。