[发明专利]槽体排泡装置与方法

权利要求书

1.一种槽体排泡装置，用以去除含有气泡之药液，其特征在于，其系包括有：

一槽体，具有一中空腔室用以承装药液以形成一液体平面；

一药液入口及一药液出口；以及

复数个隔板，间隔排列设置于该槽体中，其中，每一该复数个隔板之两端皆与该槽体相接触，且具有复数个孔洞。

2.如权利要求书1所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中该槽体更系设置有一排气装置，该排气装置之位置至少高于该槽体高度的二分之一。

3.如权利要求书2所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中该排气装置可为自然排气装置或强制排气装置。

4.如权利要求书1所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中该复数个孔洞系由一海绵体所构成。

5.如权利要求书1所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中每一个隔板系为一多层式隔版所构成。

6.如权利要求书1所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中，越接近该药液入口之该隔板之该复数个孔洞之孔径系大于远离该药液入口之该隔板之该复数个孔洞之孔径。

7.如权利要求书6所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中该复数个孔洞系为复数个六角形蜂槽状孔洞所构成。

8.如权利要求书6所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中该复数个孔洞系为任意多边形、多角形或圆形孔洞所构成。

9.如权利要求书7所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中该复数个孔洞之孔径系为单一孔径或大小不一排列。

10.如权利要求书1所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中该槽体的底部系为一非水平的斜面。

11.如权利要求书1所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中该药液之液面高于该药液入口且低于该槽体之高度。

12.如权利要求书1所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中该药液系指一光阻药液或为其他工业用药液。

13.如权利要求书1所述的槽体排泡装置，其中更包括一循环回收装置连接该药液出口，用以将从该药液出口排出一药液导入至该药液入口。

14.如权利要求书1所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中该复数个隔板以形成药液流道，且该流道长度至少大于槽体长度之1.5倍。

15.一种槽体排泡方法，其特征在于，其系包括有：

提供一槽体，该槽体内设置有具有复数个孔洞之复数个隔板以形成一预设流道；

将药液由该槽体之一药液入口注入形成一槽体液体平面，该槽体液体平面系高于该药液入口且低于槽体高度，使药液在槽体内依循该预设流道流动；

利用该复数个孔洞来吸附在该预设流道流动的药液中的气泡，以使复数个气泡聚集于该复数个孔洞达一定程度后向上移动到该槽体之液面高度以排出气泡完成排泡处理；以及

将已经由排泡处理的药液由一药液出口排出。

16.如权利要求书15所述的槽体排泡方法，其特征在于，其中该些孔洞之孔径可为单一孔径，亦可为交错排列大小不一的孔径。

17.如权利要求书15所述的槽体排泡方法，其特征在于，其中该槽体的底部系为一非水平的斜面。

18.如权利要求书15所述的槽体排泡方法，其特征在于，其中该复数个孔洞系为复数个六角形蜂槽状孔洞所构成。

19.如权利要求书15所述的槽体排泡方法，其特征在于，其中该复数个孔洞系为任意多边形、多角形或圆形孔洞所构成。

20.如权利要求书15所述的槽体排泡方法，其特征在于，其中该药液之液面高于该药液入口且低于该槽体之高度。

21.如权利要求书15所述的槽体排泡方法，其特征在于，其中该预设流道长度至少大于槽体长度之1.5倍。