[发明专利]槽体排泡装置与方法

说明书

技术领域

本发明系有关槽体排泡装置与方法，尤指一种于涂布制程中，其涂布装置中设置一药液储存之槽体，该槽体可藉由复数隔板上至少设置有一网状滤泡装置，且该网状滤泡装置可有效阻隔拦截药液中的气泡，使流出槽体之药液具有最佳无泡稳定之特性。

背景技术

习知半导体药液之滤泡装置多设于生产机台内部，例如：光阻涂布机、显影机及湿式蚀刻机之装置，若需更换药液时，必先停机更换后，再经过一定程序将药液内的气泡完全排除，该排泡过程必须花费数个小时之时间，方能将药液内的气泡完全排出。若药液之气泡未完全排出时，气泡将直接附着于产品上,将对制程造成负面影响降低产品良率，而造成的影响包括有：残影（Mura）、水印（Water Mark）、针孔（Pin Hole）及种种相关受气泡影响而造成反应不全（例如：显影不全、蚀刻不全）之缺陷，造成产品良率大幅降低，而有待从事此行业者加以解决。

发明内容

基于解决以上所述习知技艺的缺失，本发明为一种槽体排泡装置与方法，本发明之主要目的于涂布制程中，其涂布装置中设置一药液储存之槽体，该槽体可藉由复数隔板上至少设置有一网状滤泡装置，且该网状滤泡装置可有效阻隔拦截药液中的气泡，使流出槽体之药液具有最佳无泡稳定特性的功能。

本发明之另一目的在于藉由隔板个数增加设置，而使药液的流动路径增加，来增加药液之排泡机会，达成排泡效果。

本发明之再一目的在于藉由该药液入口及该药液出口皆设置于该槽体之底部，以减少药液流动时之扰动，以降低气体混入形成气泡之机会。

为达上述目的，本发明为一种槽体排泡装置，用以滤泡含有气泡之药液，其系包括有：

一槽体，系为一具有腔室之箱体，而其腔室用以承装药液，具有一药液入口及一药液出口，且于药液上表面具有一空间；以及

复数个隔板，设置于该槽体中，使槽体内成一规则流道，该些复数隔板上至少设置有一网状滤泡装置。

较佳者，该槽体更系设置有一排气装置，且该排气装     置设置于槽体空间之位置。

较佳者，该排气装置可为自然排气装置或强制排气装   置。

较佳者，该自然排气装置系为一孔洞。

较佳者，该强制排气装置系为一风扇马达。

较佳者，该网状滤泡装置系为复数个六角形蜂槽状孔洞所构成。

较佳者，该网状滤泡装置系为任意多边形、多角形或圆形孔洞所构成。

较佳者，该网状滤泡装置系为一海绵体所构成。

较佳者，该网状滤泡装置的孔洞之孔径，可设计不同大小，或多重设置，以配合相关药液特性。为靠近该药液入口较大，且靠近该药液出口较小。

较佳者，该网状滤泡装置系具有一厚度。

较佳者，该药液入口及该药液出口皆设置于该槽体之底部。

较佳者，该药液系指一光阻药液或为其他工业用药液。

较佳者，该药液出口流出药液系可藉由一循环回收装置加以回收。

为达上述目的，本发明为一种槽体排泡方法，其系包括有：

提供一槽体，该槽体内设置有具有复数个孔洞之复数个隔板以形成一预设流道；

将药液由该槽体之一药液入口注入形成一槽体液体平面，该槽体液体平面系高于该药液入口且低于槽体高度，使药液在槽体内依循该预设流道流动；

利用该复数个孔洞来吸附在该预设流道流动的药液中的气泡，以使复数个气泡聚集于该复数个孔洞达一定程度后向上移动到该槽体之液面高度以排出气泡完成排泡处理；以及

将已经由排泡处理的药液由一药液出口排出。

为进一步对本发明有更深入的说明，乃藉由以下图示、图号说明及发明详细说明，冀能对  贵审查委员于审查工作有所助益。

附图说明

图1为本发明槽体排泡装置之俯视剖面结构示意图；

图2A为本发明槽体排泡装置之正视剖面结构示意图；

图2B为本发明槽体排泡装置之俯视流道示意图；

图3为本发明单一隔板之结构示意图；

图4为本发明隔板之网状滤泡装置的放大结构示意图；

图5为本发明隔板之网状滤泡装置采用不规则孔洞结构之第一实施例图；

图6为本发明隔板之网状滤泡装置采用不规则孔洞结构之第二实施例图；

图7为本发明隔板之网状滤泡装置采用不规则孔洞结构之第三实施例图；

图8为本发明槽体的底部可为一不平坦的斜面之实施结构示意图；

图9为本发明之槽体排泡方法的流程图。

附图标记说明：

L1～流道长度