[发明专利]分立式压爪机构无效
申请号: | 201210555281.8 | 申请日: | 2012-12-19 |
公开(公告)号: | CN103065988A | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 陈钢 | 申请(专利权)人: | 无锡创立达科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;B23K37/04 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
地址: | 214142 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 立式 机构 | ||
技术领域
本发明涉及一种压爪机构,尤其是一种分立式压爪机构,具体地说是用于半导体封装铝线键合工艺中的压爪机构,属于半导体封装的技术领域。
背景技术
在半导体封装众多工序中,压爪系统是键合工艺过程中非常重要的一个硬件配置。压爪系统的可靠与合理,特别是在粗铝线(¢100um-500um)键合工序中,对半导体产品的可靠性、稳定性、电性有着敏感、直接的影响。
传统的压爪系统是整体式的,每一个爪子都不能独立调整,当某一个压爪受力大时,其他的压爪必然受力偏小,且在铝线键合调试过程中,不能根据产品特点进行相应的调整,导致不能将框架的每一单元的各个引脚压结实,从而在键合过程中对铝跟铜的金相结合造成破坏,产品失效几率增加。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种分立式压爪机构,其结构简单紧凑,能对单个压爪进行调整,调整方便,适应范围广,安全可靠。
按照本发明提供的技术方案,所述分立式压爪机构,包括基座固定座,所述基座固定座的上部通过第二连接件与基座连接,基座及基座固定座能绕第二连接件移动;基座上通过第一连接件与压爪体连接,压爪体及基座能绕第一连接件移动。
所述第一连接件为螺钉。所述第二连接件为螺钉。所述基座固定座的下部设有贯通基座固定座的固定座连接孔。
所述基座固定座的上部设有若干第一连接孔,基座上设有第二长腰孔,所述第一连接孔及第二长腰孔与第二连接件匹配,第二连接件穿入第二长腰孔及第一连接孔内,以将基座与基座固定座连接。
所述压爪体上设有第一长腰孔,所述第一长腰孔与基座上的第二连接孔匹配,第一连接件穿入第一长腰孔及第二连接孔内,以将压爪体与基座连接。
本发明的优点:压爪体通过第一连接件与基座连接,基座通过第二连接件与基座固定座连接,压爪体通过第一连接件及第二连接件能实现需要的调整,以适应不同型号框架,确保对框架上每一个引脚压实,避免在键合过程中对铝跟铜的金相结合造成破坏,提高产品的合格率,结构简单紧凑,安全可靠。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为本发明基座固定座的结构示意图。
图3为图2的左视图。
图4为本发明压爪体的结构示意图。
图5为图4的俯视图。
图6为本发明基座的俯视图。
图7为图8的左视图。
图8为本发明基座的结构示意图。
附图标记说明:1-压爪体、2-第一连接件、3-基座、4-第二连接件、5-基座固定座、6-固定座连接孔、7-第一连接孔、8-第一长腰孔、9-压爪端、10-第二长腰孔、11-第二连接孔、12-第一板体及13-第二板体。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本发明作进一步说明。
如图1所示:为了能够在半导体封装铝线键合中对框架有效地压固,并能进行单独的调整,本发明包括基座固定座5,所述基座固定座5的上部通过第二连接件4与基座3连接,基座3及基座固定座5能绕第二连接件4移动;基座3上通过第一连接件2与压爪体1连接,压爪体1及基座3能绕第一连接件2移动。
具体地,所述第一连接件2采用螺钉,第二连接件4也采用螺钉。压爪体1绕第一连接件2相对基座3移动,基座3绕第二连接件4相对基座固定座5移动,从而实现对本发明压爪机构的单独调整。
如图2和图3所示:为本发明基座固定座5的结构示意图,基座固定座5的下部设有固定座连接孔6,所述固定座连接孔6贯通基座固定座5,以通过固定座连接孔6将基座固定座5安装固定在相应的封装设备上。基座固定座5的上部设有若干第一连接孔7,所述第一连接孔7均匀分布在基座固定座5的上部,通过第一连接孔7与第二连接件4的配合,能够实现基座3与基座固定座5的连接,本发明实施例中,基座固定座5上设置16个均匀分布的第一连接孔7。
如图6、图7和图8所示:为本发明基座3的结构示意图,所述基座3包括第一板体12及位于第一板体12端部的第二板体13,第一板体12与第二板体13垂直分布,使得基座3呈L型。第二板体13上设有第二长腰孔10,第一板体12上设置第二连接孔11。连接时,基座13的第二长腰孔10与第一连接孔7匹配,将第二连接件4插入第二长腰孔10后在穿入需要的第一连接孔7内,以将基座3与基座固定座5连接。第二连接件4与第二长腰孔10及第一连接孔7匹配,从而使得基座3与基座固定座5之间能调整位置,操作方便。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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