[发明专利]半导体及微电子行业耐高温防滑夹具有效

专利信息
申请号: 201210559378.6 申请日: 2012-12-21
公开(公告)号: CN103094172A 公开(公告)日: 2013-05-08
发明(设计)人: 刘鹏;毕绿燕;赵红军;张国义;童玉珍;廉宗隅 申请(专利权)人: 东莞市中镓半导体科技有限公司;北京大学
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 谭一兵;王东亮
地址: 523518 *** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 半导体 微电子 行业 耐高温 防滑 夹具
【权利要求书】:

1.一种半导体及微电子行业耐高温防滑夹具,其特征在于,包含有:第一夹臂(1)、第二夹臂(2),所述第一夹臂(1)、第二夹臂(2)之间相互连接形成连接端,所述第一夹臂(1)、第二夹臂(2)之间互成夹角,所述第一夹臂(1)、第二夹臂(2)具有一定弹性形变性能,所述第一夹臂(1)另一端的自由端安装衔接有第一夹头(3),所述第二夹臂(2)另一端的自由端安装衔接有第二夹头(4),所述第一夹头(3)与所述第二夹头(4)之间形成卡槽夹持部,通过作用所述第一夹臂(1)、第二夹臂(2)控制所述第一夹头(3)、第二夹头(4)的运动作用于样品;

所述第一夹头(3)、第二夹头(4)的形状为铲形,所述第一夹头(3)与所述第一夹臂(1)内侧形成一个向内的锐角,所述第二夹臂(2)与所述第二夹头(4)内侧形成一个向内侧的锐角;

或所述第一夹头(3)、第二夹头(4)的形状为勾形,所述第一夹头(3)与所述第一夹臂(1)内侧形成一个向内的95~150度钝角,所述第二夹臂(2)与所述第二夹头(4)内侧形成一个向内侧的95~150度钝角;

或所述第一夹臂(1)与所述第二夹臂(2)的末端呈八字张开,所述第一夹臂(1)向外的末端使八字外侧形成一个100~170度钝角,所述第二夹臂(2)向外的末端使八字外侧形成一个100~170度钝角,所述第一夹臂(1)与所述第二夹臂(2)的末端部分别与所述第一夹头(3)和所述第二夹头(4)连接,所述第一夹头(3)、第二夹头(4)末端间距大于晶片(5)直径,所述第一夹臂(1)末端部与所述第一夹头(3)形成内向50~130度劣角的钩状卡槽,所述第二夹臂(2)末端部与所述第二夹头(4)形成内向50~130度劣角的钩状卡槽,所述第一夹头(3)、第二夹头(4)的卡槽向内,利用卡槽卡住晶片(5)。

2.根据权利要求1所述的半导体及微电子行业耐高温防滑夹具,其特征在于,所述第一夹臂(1)末端与第一夹头(3)、所述第二夹臂(2)末端与第二夹头(4)之间的安装方式为一体成型、碾压、螺丝结合、黏合、焊接、钳夹。

3.根据权利要求1所述的半导体及微电子行业耐高温防滑夹具,其特征在于,所述第一夹臂(1)、第二夹臂(2)间相互连接位置在夹臂中部或夹臂首端,所述第一夹臂(1)末端安装衔接有所述第一夹头(3),所述第二夹臂(2)末端安装衔接有所述第二夹头(4),所述第一夹头(3)、第二夹头(4)之间形成夹持部。

4.根据权利要求1所述的半导体及微电子行业耐高温防滑夹具,其特征在于,所述第一夹臂(1)、第二夹臂(2)材质采用:铁、不锈钢、碳素、陶瓷、钛、钼、钨、铝合金、塑料、复合型材料,所述第一夹臂(1)、第二夹臂(2)之间连接方式为一体成型、碾压、螺丝结合、黏合、焊接、钳夹。

5.根据权利要求1所述的半导体及微电子行业耐高温防滑夹具,其特征在于,所述第一夹头(3)、第二夹头(4)耐高温的材质采用:不锈钢、石墨、石英、碳素、陶瓷、钛、钼、钨、铝合金以及复合型材料。

6.根据权利要求1所述的半导体及微电子行业耐高温防滑夹具,其特征在于,所述第一夹臂(1)、第二夹臂(2)的形状为:扁平状、圆柱形以及锥形,所述第一夹臂(1)、第二夹臂(2)大小相同,或所述第一夹臂(1)、第二夹臂(2)大小不相同。

7.根据权利要求1所述的半导体及微电子行业耐高温防滑夹具,其特征在于,所述第一夹臂(1)、第二夹臂(2)的顶端通过相互辗压连接在一起。

8.根据权利要求1所述的半导体及微电子行业耐高温防滑夹具,其特征在于,所述第一夹头(3)、第二夹头(4)大小相同,或所述第一夹头(3)、第二夹头(4)大小不同。

9.根据权利要求1所述的半导体及微电子行业耐高温防滑夹具,其特征在于,所述第一夹臂(1)与所述第二夹臂(2)的末端呈八字张开,所述第一夹臂(1)末端与所述第一夹头(3)形成内向90°角的钩状卡槽,所述第二夹臂(2)末端与所述第二夹头(4)形成内向90°角的钩状卡槽,所述第一夹头(3)、第二夹头(4)的卡槽向内。

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