[发明专利]半导体及微电子行业耐高温防滑夹具

说明书

技术领域

 本发明涉及一种高温防滑夹具，特别涉及一种半导体及微电子行业生产流程中夹持晶片使用的夹具，本发明所设计的夹具，利用夹头的巧妙设计防止在夹取晶片过程中晶片的滑落。

背景技术

21世纪人类全面进入了信息化社会，微电子技术仍在高速发展，对微电子信息技术和微电子ULSI基础技术将不断提出更高的发展要求，微电子技术仍将继续是21世纪若干年代中最为重要的和最有活力的高科技领域之一。

夹具是微电子以及半导体生产过程中使用频繁且不可缺少的工具。

长时间工作在枯燥的生产线难免令操作人员精神涣散，或夹取晶片时用力不规范，经常在夹片过程中导致晶片滑落、碎裂等，会增加生产成本，严重地影响生产进度。所以寻找一种有一定保护功能且安全性较高的夹具，以减少晶片夹取过程中滑落、碎裂等所带来的损失，是一项非常重要的工作。

目前的夹具通常有两种：一种为镊子类，它包括狭长的两个夹臂，两夹臂一端固定在一起，另一端相互间隔形成夹头，通过挤压两边夹臂使夹头合拢来夹取晶片；另一种为：真空吸持方式，利用真空负压，吸附晶片表面，将晶片夹取。镊子类夹具其夹头与夹臂在同一直线上，晶片在夹持转移过程中易发生摇晃，不能很好的夹持晶片。如果在晶片发生晃动的过程中，增大镊子的夹力，有可能划伤晶片的表面，破坏晶片表层，晶片表面涂胶层或晶片表面易产生凹坑，如LED外延片的表层氮化镓易受损。第二种真空吸附方式，它对密封性要求非常高，吸盘一旦漏气将导致晶片脱落。且因吸盘材质为橡胶，在高温下发生严重形变而易漏气也会污染环境。

现有技术问题缺陷：夹头无防滑功能，安全性较差，易滑落；难以适用高温。因此上述两种镊子均不能满足温度高达800℃的环境下安全使用的需求。

发明内容

本发明内容针对现有镊子在使用过程中的不足，提供一种夹头为特殊卡槽形状的夹具，通过夹头与夹臂的安装组合方式，使用时施力于夹臂，用卡槽卡住所夹持晶片，有效防止夹持过程中晶片的掉落。

为达到上述目的，本发明采用以下方案：

一种半导体及微电子行业耐高温防滑夹具，包含有第一夹臂、第二夹臂，第一夹臂、第二夹臂之间相互连接形成连接端，第一夹臂、第二夹臂之间互成夹角，第一夹臂、第二夹臂都具有一定弹性形变性能；第一夹臂另一端的自由端安装衔接有第一夹头，第二夹臂另一端的自由端安装衔接有第二夹头，第一夹头与第二夹头之间形成卡槽夹持部，通过作用第一夹臂、第二夹臂控制第一夹头、第二夹头的运动作用于样品；

第一夹头、第二夹头的形状可以为铲形，第一夹头与第一夹臂内侧形成一个向内的锐角，第二夹臂与第二夹头内侧形成一个向内侧的锐角；

或第一夹头、第二夹头的形状可以为勾形，第一夹头与第一夹臂内侧形成一个向内的95～150度钝角，较佳为：100、130、135度，第二夹臂与第二夹头内侧形成一个向内侧的95～150度钝角，较佳为：100、130、135度；

或第一夹臂与第二夹臂的末端呈八字张开，第一夹臂向外的末端使八字外侧形成一个100～170度钝角，较佳为：110、130、155度，第二夹臂向外的末端使八字外侧形成一个100～170度钝角，较佳为：110、130、155度，第一夹臂与第二夹臂的末端部分别与第一夹头和第二夹头连接，第一夹头、第二夹头末端间距大于晶片直径，第一夹臂末端部与第一夹头形成内向50～130度劣角的钩状卡槽，较佳为：70、90、100度，第二夹臂末端部与第二夹头形成内向50～130度劣角的钩状卡槽，较佳为：70、90、100度，第一夹头、第二夹头的卡槽向内，利用卡槽卡住晶片，有效的防止晶片脱落。

在其中一些实施例中，所述第一夹臂末端与第一夹头、第二夹臂末端与第二夹头之间的安装方式，包括一体成型、碾压、螺丝结合、黏合、焊接、钳夹以及其他安装方式。

在其中一些实施例中，所述第一夹臂、第二夹臂间相互连接位置，可以选在夹臂中部或夹臂首端，第一夹臂末端安装衔接有第一夹头，第二夹臂末端安装衔接有第二夹头，第一夹头、第二夹头之间形成夹持部。

在其中一些实施例中，所述第一夹臂、第二夹臂可以根据使用施力情况以及使用温度等不同需求选择：铁、不锈钢、碳素、陶瓷、钛、钼、钨、铝合金、塑料以及其他复合型材料，第一夹臂、第二夹臂之间连接方式，包括一体成型、碾压、螺丝结合、黏合、焊接、钳夹以及其他连接方式。

在其中一些实施例中，所述第一夹头、第二夹头耐高温的材质可采用：不锈钢、石墨、石英、碳素、陶瓷、钛、钼、钨、铝合金以及其他耐高温的复合型材料。