[发明专利]物品保管设备以及物品保管方法

权利要求书

1.一种物品保管设备，具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，向上述多个收纳部的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径，将由上述惰性气体供给路径供给到上述收纳部的惰性气体向收纳在该收纳部中的上述运送容器的内部排放的排放部，

在此，上述多个收纳部被区分成多个区域，

上述惰性气体供给路径具备：将惰性气体向上述多个区域的每一个供给的区域用供给部分，和将由上述区域用供给部分供给到上述区域的惰性气体向该区域中的上述多个收纳部的每一个分支供给的收纳部用供给部分，

上述物品保管设备的特征在于，

设有使多个上述收纳部用供给部分中的两个以上的上述收纳部用供给部分彼此连通的旁通部分，和能够切换成上述旁通部分的惰性气体能够流通的打开状态或上述旁通部分的惰性气体不能够流通的关闭状态的旁通用切换阀。

2.如权利要求1所述的物品保管设备，其特征在于，

上述旁通部分设成将上述多个收纳部用供给部分中的两个作为一组，使成组的两个上述收纳部用供给部分彼此连通。

3.如权利要求1或2所述的物品保管设备，其特征在于，

设有沿上下方向以及左右方向排列地设有上述收纳部的保管架，

上述旁通部分设成使在上下方向或者左右方向上邻接的上述区域的上述收纳部用供给部分彼此连通。

4.如权利要求1或2所述的物品保管设备，其特征在于，

设有：检测惰性气体相对于上述多个区域的每一个的供给状态的区域用供给状态检测装置，检测上述旁通用切换阀的切换状态的切换状态检测装置，以及基于上述区域用供给状态检测装置的检测信息进行是否恰当地供给了惰性气体的判定的供给状态判定的控制装置，

将通过上述供给状态判定而判定为未恰当地供给惰性气体的上述区域作为对象区域，

上述控制装置构成为，基于上述切换状态检测装置的检测信息，以设在与上述对象区域的上述收纳部用供给部分连通的上述旁通部分的上述旁通用切换阀处于上述关闭状态为条件，将属于该对象区域的上述收纳部作为禁止运送容器的收纳的禁止收纳部进行管理。

5.如权利要求4所述的物品保管设备，其特征在于，

上述控制装置构成为，基于上述区域用供给状态检测装置的检测信息执行退避用运送处理，将收纳在因惰性气体的供给状态的变化而切换成上述禁止收纳部的上述收纳部中的上述运送容器向未被作为上述禁止收纳部进行管理的上述收纳部运送。

6.一种利用物品保管设备的物品保管方法，

上述物品保管设备具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，向上述多个收纳部的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径，以及将由上述惰性气体供给路径供给到上述收纳部的惰性气体向收纳在该收纳部中的上述运送容器的内部排放的排放部，

上述多个收纳部被区分成多个区域，

上述惰性气体供给路径具备：将惰性气体向上述多个区域的每一个供给的区域用供给部分，和将由上述区域用供给部分供给到上述区域的惰性气体向该区域中的上述多个收纳部的每一个分支供给的收纳部用供给部分，

在上述物品保管设备上设有：使多个上述收纳部用供给部分中的两个以上的上述收纳部用供给部分彼此连通的旁通部分，能够切换成上述旁通部分的惰性气体能够流通的打开状态或上述旁通部分的惰性气体不能够流通的关闭状态的旁通用切换阀，检测惰性气体相对于上述多个区域的每一个的供给状态的区域用供给状态检测装置，检测上述旁通用切换阀的切换状态的切换状态检测装置，以及基于上述区域用供给状态检测装置的检测信息进行是否恰当地供供给了惰性气体的判定的供给状态判定的控制装置，

上述物品保管方法包括由上述控制装置执行的以下的工序：

将通过上述供给状态判定而判定为未恰当地供给惰性气体的上述区域作为对象区域，

收纳部管理工序，基于上述切换状态检测装置的检测信息，以设在与上述对象区域的上述收纳部用供给部分连通的上述旁通部分的上述旁通用切换阀处于上述关闭状态为条件，将属于该对象区域的上述收纳部作为禁止运送容器的收纳的禁止收纳部进行管理。

7.如权利要求6所述的物品保管方法，其特征在于，作为由上述控制装置执行的工序，还包括退避用运送处理工序，基于上述区域用供给状态检测装置的检测信息，将收纳在因惰性气体的供给状态的变化而切换成上述禁止收纳部的上述收纳部中的上述运送容器向不被作为上述禁止收纳部进行管理的上述收纳部运送。