[发明专利]物品保管设备以及物品保管方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种物品保管设备以及利用这种物品保管设备的物品保管方法，该物品保管设备具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，相对于上述多个收纳部的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径，以及将由上述惰性气体供给路径供给到上述收纳部的惰性气体向收纳在该收纳部中的上述运送容器的内部排放的排放部，上述多个收纳部被区分成多个区域，上述惰性气体供给路径具备：将惰性气体向上述多个区域的每一个供给的区域用供给部分，和将由上述区域用供给部分供给到上述区域的惰性气体向该区域中的上述多个收纳部的每一个分支供给的收纳部用供给部分。

背景技术

在日本国特开2010-182747号公报（专利文献1）中公开了上述这种物品保管设备的一例。装备在专利文献1的物品保管设备上的带洁净功能的物品保管架具备多个收纳收容半导体晶片的FOUP等运送容器的收纳部，通过惰性气体供给路径向该收纳部的每一个供给例如氮气或氩气等惰性气体，并通过排放部将该惰性气体向运送容器的内部排放。

在上述专利文献1中，在将运送容器收纳在收纳部中后，从排放部向运送容器的内部排放惰性气体，将不利于基板的氧气或水蒸气等从运送容器内排出，使收纳在收纳部中的运送容器为内部被惰性气体充满的状态。这样一来，抑制了产生收容在运送容器中的基板的氧化等不良情况。

但是，在上述专利文献1的物品保管设备中，即使在由于区域用供给部分的破损或设在区域用部件部分与收纳部用供给部分的连接部位的流量调整阀等仪器的故障，不再能够向收纳部恰当地供给惰性气体的情况下，运送容器收纳在该收纳部中的状态也继续。因此，在不再能够向收纳部恰当地供给惰性气体的情况下，由于外气向运送容器内流入等而运送容器内的环境恶化，存在运送容器内的基板上产生不良情况的可能性。

发明内容

鉴于上述背景，希望实现即使在不再能够向收纳部恰当地供给惰性气体的情况下，也能够将收纳在该收纳部中的运送容器内的基板上产生不良情况的事态防患于未然的物品保管设备。

本发明所涉及的物品保管设备具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，向上述多个收纳部的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径，将由上述惰性气体供给路径供给到上述收纳部的惰性气体向收纳在该收纳部中的上述运送容器的内部排放的排放部，其中，上述多个收纳部被区分成多个区域，上述惰性气体供给路径具备：将惰性气体向上述多个区域的每一个供给的区域用供给部分，和将由上述区域用供给部分供给到上述区域的惰性气体向该区域中的上述多个收纳部的每一个分支供给的收纳部用供给部分，设有使多个上述收纳部用供给部分中的两个以上的上述收纳部用供给部分彼此连通的旁通部分，和能够切换成上述旁通部分的惰性气体能够流通的打开状态或上述旁通部分的惰性气体不能够流通的关闭状态的旁通用切换阀。

根据上述结构，通过将旁通用切换阀切换成打开状态，能够使惰性气体在相互连通的多个收纳部用供给部分彼此之间流通。因此，在因区域用供给部分的破损或设在区域用供给部分与收纳部用供给部分的连接部位的流量调整阀等仪器的故障而发生了向收纳部供给的惰性气体比适当供给量减少的事态，或者惰性气体完全不向收纳部供给的事态的情况下，通过将旁通用切换阀切换成打开状态，能够使惰性气体从恰当地供给了惰性气体的区域的收纳部用供给部分经由旁通部分向未恰当地供给惰性气体的区域的收纳部用供给部分流动。其结果，能够抑制收纳在收纳部中的运送容器的基板上产生不良情况。

本发明所涉及的物品保管设备的技术特征也能够适用于物品保管方法，本发明也能够将这种方法作为权利的对象。在该物品保管方法中，也能够得到上述物品保管设备的所涉及的作用和效果。