[发明专利]一种光伏硅片清洁剂及其清洁方法

权利要求书

1.一种光伏硅片清洁剂，其特征在于该清洁剂的组分为：按重量配比为，纯水∶碳酸钠∶偏硅酸钠∶脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙稀封端聚醚∶C12脂肪醇聚氧乙烯醚∶烷基苯磺酸盐∶烷基双羟酸盐＝100∶2∶2∶3∶3.5∶2∶1；将上述原料混合，充分搅拌而成。

2.一种光伏硅片的清洁方法，其特征在于：步骤一：制作清洁剂，将纯水、碳酸钠、偏硅酸钠、脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙稀封端聚醚、C12脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基苯磺酸盐、烷基双羟酸盐按100∶2∶2∶3∶3.5∶2∶1的比例混合，并充分搅拌；步骤二：纯水冲洗，将硅片放入容器中加入纯水，用超声波清洗5分钟，温度50℃，超声波功率80w，频率40Hz；步骤三：清洁剂冲洗，将硅片放入容器中加入上述清洁剂，用超声波清洗5分钟，温度65℃，超声波功率80w，频率40Hz；步骤四：纯水冲洗，将硅片放入容器中加入纯水，用超声波清洗5分钟，温度50℃，超声波功率80w，频率40Hz；步骤五：烘干。