[发明专利]电子元件移载装置、电子元件操作装置以及电子元件测试装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于测试半导体集成电路元件等各种电子元件（以下称作DUT(Device Under Test)）的测试装置上的、用于在托盘间移换DUT的电子元件移载装置，以及具有该电子元件移载装置的电子元件操作装置和电子元件测试装置。 

技术背景

已知的是，作为用于测试电子元件的电子元件测试装置，测试前后在用户托盘(customer tray)与测试托盘之间移换DUT。（例如参照专利文献1） 

现有技术文献 

专利文献 

专利文献1：国际公开第2008/041334号 

发明内容

发明要解决的技术问题 

上述的电子元件测试装置中，由于是通过所谓的提押（pick and press）装置在托盘之间移换DUT,故其移载能力有限。 

本发明要解决的技术问题是，提供托盘间的DUT的移载能力优良的电子元件移载装置，以及具有该移载装置的电子元件操作装置以及电子元件测试装置。 

解决技术问题的方法 

本发明的电子元件移载装置，是用于在托盘间移换被测电子元件的电子元件移载装置，包含具有多个保持所述被测电子元件的保持构件、为所述保持构件提供导向的无端的轨道以及使所述保持构件在所述轨道上移动的移动 构件的搬送装置，所述保持构件可在所述轨道上绕该轨道的全周移动。 

上述发明中，在所述轨道上多个所述保持构件之间的间隔可变也是可以的。 

上述发明中，所述移动构件，独立于所述保持构件也是可以的。 

上述发明中，所述电子元件移载装置，包含将所述被测电子元件从第1托盘移载至所述保持构件的第1移动构件、将所述被测电子元件从所述保持构件移至第2托盘的第2移载构件也是可以的。 

上述发明中，所述轨道具有在垂直方向翻折的反转部也是可以的。 

上述发明中，所述电子元件移载装置包含在所述被测电子元件的端子朝下或朝上的姿势下从第1托盘将所述被测电子元件移载至所述保持构件的第1移载构件，以及在所述端子朝上或朝下的姿势下从所述保持构件将所述被测电子元件移载至第2托盘的第2移载构件也是可以的。 

上述发明中，所述轨道具有在所述端子朝下的姿势下使所述保持构件水平移动的第1水平部、在所述端子朝上的姿势下使所述保持构件水平移动的第2水平部；所述反转部包含连接所述第1水平部的一端与所述第2平部一端之间的第1反转部，以及连接所述第2水平部的另一端以及所述第1水平部另一端之间的第2反转部；所述移动构件具有将所述保持构件从所述第1水平部的另一端向一端移动的第1移动部、将所述保持构件从所述第2水平部的一端向另一端移动的第2移动部以及沿着所述第2反转部将所述保持构件从所述第2水平部的另一端向所述第1水平部的另一端移动的第3移动部也是可以的。 

上述发明中，所述保持构件，具有在所述保持构件反转的状态下也保持所述被测电子元件的保持机构也是可以的。 

上述发明中,所述搬送装置,包含通过在所述保持构件与所述轨道之间介有压缩流体以使所述保持构件从所述轨道上浮的上浮构件也是可以的。 

上述发明中，一边的所述托盘为用户托盘或者测试托盘，另一边的所述托盘为测试托盘或者用户托盘也是可以的。 

本发明的电子元件操作装置，为测试所述被测电子元件将所述被测电子 元件装载于测试托盘上并搬送，并将所述被测电子元件推压于测试头的接触部上。该电子元件操作装置包含将测试前的被测电子元件从用户托盘移载至测试托盘的上述的第1电子元件移载装置，或者将测试后的被测电子元件从测试托盘移载至用户托盘的第2电子元件移载装置中的至少一个。 

本发明的电子元件测试装置用于测试被测电子元件，包含测试头、用于将所述被测电子元件推压于所述测试头的接触部上的上述电子元件操作装置，以及电连接于所述测试头的测试器。 

根据本发明，在托盘间移载被测电子元件时，通过使多个保持构件在无端的轨道上循环从而可依次搬送被测电子元件，故可提高托盘间的被测电子元件的移载能力。 

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的电子元件测试装置的平面图。 

图2是表示本发明的实施方式的电子元件测试装置的斜视图。 

图3是表示沿图1的Ⅲ-Ⅲ线的截面图。 

图4是表示沿图1的Ⅳ-Ⅳ线的截面图。 

图5是表示本发明的实施方式的装载部的器件搬送装置的侧面图。 

图6是图5所示的器件搬送装置的梭子以及导轨的侧面图。