[发明专利]有机电致发光器件及其制备方法无效
申请号: | 201210572588.9 | 申请日: | 2012-12-25 |
公开(公告)号: | CN103904246A | 公开(公告)日: | 2014-07-02 |
发明(设计)人: | 周明杰;王平;钟铁涛;陈吉星 | 申请(专利权)人: | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/54;H01L51/56 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 王茹;黄晓庆 |
地址: | 518100 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 电致发光 器件 及其 制备 方法 | ||
1.一种有机电致发光器件,包括依次层叠的阳极基底、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极层,其特征在于,在所述阴极层上交替蒸镀至少一层有机阻挡层和一层无机阻挡层;所述有机阻挡层的材质为金属酞菁化合物,所述无机阻挡层的材质为掺杂10-40wt%氟化物的氧化物组成的混合物。
2.根据权利要求1所述的有机电致发光器件,其特征在于,所述有机阻挡层和无机阻挡层均为4-6层,每层所述有机阻挡层的厚度为100~200nm,每层所述无机阻挡层的厚度为50~100nm。
3.根据权利要求1或2所述的有机电致发光器件,其特征在于,所述金属酞菁化合物为酞菁铜、酞菁锌、酞菁铁、酞菁钴、酞菁锰或酞菁镍。
4.根据权利要求1或2所述的有机电致发光器件,其特征在于,所述氧化物为TiO2、MgO、SiO2、ZrO2、ZnO或Al2O3,所述氟化物为AlF3、HfF4、ZrF4、CeF2、YF3或MgF2。
5.根据权利要求1所述的有机电致发光器件,其特征在于,所述金属酞菁化合物为酞菁锌,所述无机阻挡层的材质为掺杂10wt%HfF4的MgO组成的混合物。
6.根据权利要求1所述的有机电致发光器件,其特征在于,所述阴极层为三明治结构,两个外层的材质为ZnS,中间层的材质为Ag,每个所述外层的厚度为30nm,所述中间层的厚度为10nm。
7.根据权利要求1所述的有机电致发光器件,其特征在于,所述空穴注入层的材质为掺杂30wt%MoO3的N,N′-二苯基-N,N′-二(1-萘基)-1,1′-联苯-4,4′-二胺,所述空穴注入层的厚度为10nm;所述空穴传输层的材质为4,4′,4″-三(咔唑-9-基)三苯胺,所述空穴传输层的厚度为30nm;所述发光层的材质为掺杂5wt%三(2-苯基吡啶)合铱的1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯,所述发光层的厚度20nm;所述电子传输层的材质为4,7-二苯基-1,10-菲罗啉,所述电子传输层的厚度为10nm;所述电子注入层的材质为掺杂30wt%CsN3的4,7-二苯基-1,10-菲罗啉,所述电子注入层的厚度为20nm。
8.一种权利要求1-7任一所述的有机电致发光器件的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)、在阳极基底的阳极层表面依次层叠真空蒸镀空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极层;
(2)、在所述阴极层上真空蒸镀有机阻挡层;其中,所述有机阻挡层的材质为金属酞菁化合物;
(3)、把步骤(2)制得的样品、氟化物和氧化物一同放入磁控溅射设备中,在所述有机阻挡层上磁控溅射制备无机阻挡层;其中,所述无机阻挡层的材质为掺杂10-40wt%氟化物的氧化物组成的混合物;
(4)、多次交替重复步骤(2)和步骤(3);
待上述工艺步骤结束后,得到有机电致发光器件。
9.根据权利要求8所述的有机电致发光器件的制备方法,其特征在于,步骤(2)所述真空蒸镀中,真空度为1×10-5Pa-1×10-3Pa,蒸镀速度为
10.根据权利要求8所述的有机电致发光器件的制备方法,其特征在于,步骤(3)所述磁控溅射中,真空度为1×10-5Pa-1×10-3Pa,磁控溅射时还包括通入流量为5~10sccm的氩气。
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H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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