[发明专利]一种掩模板及其加工方法无效
| 申请号： | 201210573283.X | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103014619A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 唐军 | 申请（专利权）人： | 唐军;钱超 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 | 代理人： | 张志醒 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 模板 及其 加工 方法 | ||
1. 一种掩模板，包括ITO接触面和蒸镀面，在所述蒸镀面上设置有多个蒸镀孔，所述蒸镀孔自所述蒸镀面贯穿至所述ITO接触面，且截面呈阶梯状，其特征在于：所述蒸镀孔包括同轴设置的第一段和第二段，所述蒸镀孔的尺寸自所述第一段向第二段呈逐渐收缩状。
2. 如权利要求1所述的掩模板，其特征在于：所述第一段和第二段均由激光切割而成，且切割方向相同。
3. 如权利要求2所述的掩模板，其特征在于：所述第二段呈锥形，所述锥形的锥角为4~10度。
4. 如权利要求3所述的掩模板，其特征在于：所述掩模板的厚度为18～190μm。
5. 如权利要求4所述的掩模板，其特征在于：所述第二段的垂直深度为10～50μm。
6. 如权利要求1所述的掩模板，其特征在于：所述掩模板的材料为镍钴合金、镍铁合金、铟瓦合金中的任意一种，厚度为18～45μm。
7. 一种掩模板的加工方法，所述掩模板包括ITO接触面和蒸镀面，在所述蒸镀面上设置有多个蒸镀孔，所述蒸镀孔自所述蒸镀面贯穿至所述ITO接触面，且截面呈阶梯状，其特征在于，所述蒸镀孔包括同轴设置的第一段和第二段，所述蒸镀孔的尺寸自所述第一段向第二段呈逐渐收缩状，所述加工方法包括以下步骤：
采用激光工艺在所述蒸镀面上沿垂直于所述ITO接触面的方向加工出所述第一段，并控制加工余量；
调整激光位置，沿所述第一段的加工方向在所述加工余量上加工出所述第二段。
8. 如权利要求7所述的掩模板的加工方法，其特征在于：所述加工余量为10~50μm。
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