[发明专利]一种多晶硅线痕片的制绒方法

权利要求书

1.一种多晶硅线痕片的制绒方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）在8℃～10℃恒温槽内配制硝酸和氢氟酸的混合溶液，该混合溶液为制绒液；

（2）将多晶硅线痕片进行装载，然后在制绒液中制绒清洗，清洗1～3分钟；以及

（3）制绒清洗后，将多晶硅线痕片依次进行纯水清洗、碱洗、第二次纯水清洗、去离子清洗以及第三次纯水清洗过程，然后将硅片在温度为40℃的空气下烘干，最后将硅片卸载，得到制绒后的硅片。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅线痕片的制绒方法，其特征在于：所述步骤（1）中，硝酸的浓度为33%～35%，氢氟酸的浓度为5%～6%。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅线痕片的制绒方法，其特征在于：所述步骤（3）中，所述碱洗溶液为：浓度为8%的氢氧化钠溶液。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅线痕片的制绒方法，其特征在于：所述步骤（3）中，所述去离子清洗液为：浓度为5%的盐酸溶液。