[发明专利]一种改进型大尺寸样品硒化处理装置

权利要求书

1.一种改进型大尺寸样品硒化处理装置，其特征在于，其包括外壳(1)，原料容器(2)，原料加热装置(3)，基片支撑台(4)，基片加热器(5)，原料加热装置热电偶(6)，基片加热器热电偶(7)和温度显示及控制装置；

该外壳(1)为中空密闭容器；

该原料容器(2)设置在外壳(1)内，其中盛装原料硒；原料容器(2)内具有原料加热装置(3)，该原料加热装置(3)上设置原料加热装置热电偶(6)；

该基片支撑台(4)放置于外壳(1)内，其上设置基片加热器(5)，基片加热器(5)上设置基片加热器热电偶(7)，基片放置在该基片加热器(5)上；

该原料加热装置(3)，基片加热器(5)，原料加热装置热电偶(6)和基片加热器热电偶(7)分别与温度显示及控制装置连接。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述外壳(1)的侧壁上设置补偿加热装置(8)，该外壳(1)的内壁上设置补偿加热热电偶(9)，两者分别连接所述温度显示及控制装置。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述基片加热器(5)的外径为50～250cm。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述外壳(1)为圆筒形，所述基片支撑台(4)为圆柱形，放置在该外壳(1)的底部；在外壳(1)的内壁和基片支撑台(4)的外侧壁之间形成环形槽作为原料容器(2)，该原料加热装置(3)环设在该环形槽底部，在原料加热装置(3)上对称设置至少一对原料加热装置热电偶(6)。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述外壳(1)由不锈钢、石墨或石英材料制成。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述基片为单晶氧化物基片、Si基片、陶瓷材料基片或半导体材料基片。

7.一种蒸汽法制备硫族、磷族元素化合物薄膜的装置，其特征在于，该装置采用权利要求1-6中任一项所述的结构，其中，所述原料容器(2)中盛装砷、碲或锑原料。

8.权利要求1-6中任一项所述的装置在制备CuInGaSe薄膜太阳能电池材料或FeSe超导材料中的应用。