[发明专利]一种太阳能电池片镀膜的方法有效
| 申请号： | 201210585663.5 | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103022259A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 谢余才;陈刚刚 | 申请（专利权）人： | 宁夏银星能源股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;C23C16/44;C23C16/34 |
| 代理公司： | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人： | 赵明辉 |
| 地址： | 750021 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 镀膜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种太阳能电池片镀膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)将插好硅片的21片石墨舟送进炉管；
(2)抽真空，至炉管内压力达到35毫托；
(3)通入氨气，使炉管内压力达到1600毫托，温度控制在425℃，放电200秒；
(4)抽真空，至压力达到35毫托时，通入氮气，再抽真空，重复两次后恢复常压；
(5)抽真空，至压力达到35毫托时，通入氨气，使得炉管内压力达到1600毫托，温度控制在425℃，预沉积150秒，再通入硅烷，至压力稳定在1600毫托，持续放电700秒；
(6)停止通气，抽真空，至压力达到35毫托时，通入氮气，再抽真空，重复两次后恢复常压；
(7)卸料即可。
2.如权利要求1所述的一种太阳能电池片镀膜的方法，其特征在于：控制反应温度保持在420-430℃，硅烷氨气比为800∶7000，反应压力控制在1600毫托-1800毫托。
3.如权利要求1或2所述的一种太阳能电池片镀膜的方法，其特征在于：放电功率调整到6300-6500w，脉冲开关比例调整为4∶45-47。
4.如权利要求1或2所述的一种太阳能电池片镀膜的方法，其特征在于：通入氮气6000sccm，时间20秒。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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