[发明专利]一种液晶显示面板及其制造方法

权利要求书

1.一种液晶显示面板，其特征在于，包括：位于衬底基板上的IGZO层、位于IGZO层上的源、漏极和像素电极、位于源极和漏极之上且位于源极和漏极之间的栅极绝缘层、位于栅极绝缘层之上的栅极和与栅极连接的扫描线、位于栅极上的Al₂O₃绝缘层、位于Al₂O₃绝缘层之上的绝缘膜、以及位于最顶层的数据线。

2.根据权利要求1所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于：像素电极与漏极同时形成且呈平面结构。

3.一种液晶显示面板的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

在衬底基板上形成IGZO层；

在形成上述图案的基础上，先在IGZO层覆盖栅极绝缘层，再在栅极绝缘层上形成栅极，然后通过光刻工艺形成栅极绝缘层和栅极的叠层图案；

在形成上述图案的基础上，覆盖一层Al膜层，然后氧气环境中高温退火，形成Al₂O₃绝缘层、源极、漏极、和像素电极；

在形成上述结构的基础上，覆盖绝缘膜层，然后开设接触孔；

在形成上述图案的基础上，形成数据线。

4.根据权利要求3所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于：像素电极与漏极同时形成且呈平面结构。

源极和漏极是Al膜层与IGZO层接触后反应形成的。

5.根据权利要求3所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于：Al₂O₃绝缘层由氧气中的氧原子与Al膜层的Al反应形成。

6.根据权利要求3所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于：形成栅极绝缘层和栅极的叠层图案的光刻工艺为干刻工艺。

7.根据权利要求3所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于：在形成数据线的同时，形成与数据线平行的公共电极线。

8.根据权利要求3所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于：在形成栅极绝缘层和栅极的叠层图案同时形成扫描线，扫描线覆盖上一像素单元的IGZO层。

9.根据权利要求3所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于：在开设接触孔的同时，挖开IGZO层上方的绝缘膜层。

10.根据权利要求3所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于：还包括一边缘接头，在开设接触孔的同时形成与该边缘接头连接的接触孔。