[实用新型]排气装置及具有该排气装置的烘烤设备有效
申请号: | 201220003971.8 | 申请日: | 2012-01-05 |
公开(公告)号: | CN202454541U | 公开(公告)日: | 2012-09-26 |
发明(设计)人: | 高启芳;张祁豪;程育中;张俊富 | 申请(专利权)人: | 志圣科技(广州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B08B15/04;B01D5/00 |
代理公司: | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人: | 黄为 |
地址: | 510850 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 排气装置 具有 烘烤 设备 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种排气装置,更具体地说,尤其涉及一种用于过滤挥发性有机气体的排气装置及具有该排气装置的烘烤设备。
背景技术
目前烘烤烤箱在烘烤电路基板或LCD玻璃基板的过程中,涂布于基板上的挥发性有机溶剂会挥发成挥发性有机气体,挥发性有机气体会随着烤箱的热风流动至排气装置内,并透过排气装置排至外部环境。
这些夹带着有机化学溶剂的废热气流通至排气装置内时,有机化学溶剂会因为温度降低的影响而冷凝附着在排气装置内,当排气装置停机进行清洁作业时,常因清洁上的不便,导致耗费的清洁工时较长。
实用新型内容
本实用新型的前一目的在于提供一种结构紧凑、使用效果好的排气装置,透过冷空气冷却热气的温度,使热气中的有机化学溶剂冷凝在过滤器上,以便于提升清洁上的便利性及效率。
本新型的目的及解决先前技术问题是采用以下技术手段来实现的:一种排气装置,包含一箱体、一冷空气进气量调节机构,及一过滤器。
箱体内设有一热交换空间、一与热交换空间相连通的第一进气流道、一与热交换空间相连通且位于第一进气流道相反端的出气流道,及一与热交换空间相连通且位于第一进气流道与出气流道之间的第二进气流道,第一进气流道用以输送热气至热交换空间内,第二进气流道用以输送冷空气至热交换空间内并与热气进行热交换;冷空气进气量调节机构包括一设置于箱体用以促使冷空气经由第二进气流道流入热交换空间内的送风结构,及一可开启地封闭住第二进气流道的冷空气调节阀;过滤器设置于热交换空间内且位于第二进气流道与出气流道之间,热气经过热交换后其化学溶剂会冷凝在过滤器上。
上述的排气装置中,所述的冷空气调节阀包含一用以封闭第二进气流道的遮蔽挡板,及一与遮蔽挡板相连接用以控制遮蔽挡板开启或关闭的马达。
本实用新型的后一目的在于提供一种具有排气装置的烘烤设备,通过控制模 块控制冷空气调节阀随着热气调节阀开启程度的不同而对应地调整变化开启的程度,以计算控制调整冷空气流量及热气流量,使冷空气流入热交换空间内的进气量与热气流入热交换空间内的进气量相同或接近,借此,能有效地提升冷空气与热气之间热交换的速度与效率,使热气中的有机化学溶剂冷凝在过滤器上,以便于提升清洁上的便利性及效率。
本实用新型的具有排气装置的烘烤设备中,包括一烘烤炉、一排气装置及一控制模块。
烘烤炉内设有一烘烤室,及一与烘烤室相连通用以将烘烤室内的热气排出的排气流道,烘烤炉包含一热气排气量调节机构,热气排气量调节机构包括一可开启地封闭住排气流道的热气调节阀;排气装置包含一箱体、一冷空气进气量调节机构,及一过滤器,箱体内设有一热交换空间、一与热交换空间及排气流道相连通的第一进气流道、一与热交换空间相连通且位于第一进气流道相反端的出气流道,及一与热交换空间相连通且位于第一进气流道与出气流道之间的第二进气流道,第一进气流道用以输送热气至热交换空间内,第二进气流道用以输送冷空气至热交换空间内并与热气进行热交换;冷空气进气量调节机构包括一设置于箱体用以促使冷空气经由第二进气流道流入热交换空间内的送风结构,及一可开启地封闭住第二进气流道的冷空气调节阀;过滤器设置于热交换空间内且位于第二进气流道与出气流道之间,热气经过热交换后其化学溶剂会冷凝在过滤器上;控制模块分别与热气调节阀及冷空气调节阀电性连接,用以控制热气调节阀以及冷空气调节阀开启或关闭。
上述的具有排气装置的烘烤设备中,所述的热气调节阀包含一用以封闭排气流道的第一遮蔽挡板,及一与第一遮蔽挡板相连接用以控制第一遮蔽挡板开启或关闭的第一马达,冷空气调节阀包含一用以封闭第二进气流道的第二遮蔽挡板,及一与第二遮蔽挡板相连接用以控制第二遮蔽挡板开启或关闭的第二马达。
控制模块包含一用以感测通过排气流道的热气流量的第一传感器、一用以感测通过第二进气流道的冷空气流量的第二传感器、一与第一、第二传感器电性连接用以接收其感测讯号的可程控器,及一电性连接于可程控器与第一、第二马达之间的主控单元,主控单元用以接收可程控器的控制讯号并且可分别控制第一、第二马达运转。
上述的具有排气装置的烘烤设备中,所述的热气调节阀还包含一用以感测第一遮蔽挡板开启程度的第一开关传感器,冷空气调节阀还包含一用以感测第二遮蔽挡板开启程度的第二开关传感器,主控单元可分别接收第一、第二开关传感器的开关感测讯号。
上述的具有排气装置的烘烤设备中,所述的主控单元电性连接于可程控器与送风结构之间,主控单元用以接收可程控器的控制讯号并且可控制送风结构运转。
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造