[实用新型]一种可准确定位的绷网装置有效
申请号: | 201220010205.4 | 申请日: | 2012-01-11 |
公开(公告)号: | CN202434582U | 公开(公告)日: | 2012-09-12 |
发明(设计)人: | 魏志凌;高小平;张炜平 | 申请(专利权)人: | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;C23C14/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 准确 定位 装置 | ||
1.一种可准确定位的绷网装置,其特征在于,所述绷网装置将掩模板绷紧固定在网框上;绷网装置包括:
绷拉机构,用以将掩膜板绷紧固定在一个平面上;
网框固定机构,用以调节网框的位置或/和角度,将网框固定在平面上的设定位置,且使得被固定的网框的上表面紧贴金属掩膜板的下表面。
2.如权利要求1所述的可准确定位的绷网装置,其特征在于,所述网框固定机构包括位置调节机构,用以调节网框在平面上的位置,将网框移动至掩模板下的设定区域。
3.如权利要求2所述的可准确定位的绷网装置,其特征在于,所述位置调节机构将网框移动至掩模板中央区域的下方。
4.如权利要求1所述的可准确定位的绷网装置,其特征在于,所述网框固定机构包括旋转角度调节机构,用以调节网框的旋转角度,使得网框所在平面平行于被固定的掩膜板所在平面。
5.如权利要求1至3之一所述的可准确定位的绷网装置,其特征在于,所述网框固定机构包括顶起机构,垂直于被固定的掩膜板或网框所在平面,用以顶起网框,实现掩膜板的下表面与网框的紧贴效果。
6.如权利要求1所述的可准确定位的绷网装置,其特征在于,所述绷拉机构包括控制系统及若干绷拉单元,各绷拉单元分布在网板的周边,控制系统控制各绷拉单元的动作;
所述绷拉单元包括动力驱动机构、拉伸机构,所述动力驱动机构连接拉伸机构;所述拉伸机构设有与网板连接的连接机构,通过该连接机构与网板连接。
7.如权利要求6所述的可准确定位的绷网装置,其特征在于,所述绷拉单元还包括弹性机构,所述动力驱动机构通过弹性机构连接拉伸机构。
8.如权利要求7所述的可准确定位的绷网装置,其特征在于,所述绷拉单元还包括弹性形变获取单元,用以感应所述弹性机构的弹性形变数据;所述弹性形变获取单元与所述控制系统连接,所述控制系统根据所述弹性形变获取单元感应的弹性形变数据,控制所述动力驱动机构提供的动力大小,进而控制动力驱动机构对拉伸机构的拉力。
9.如权利要求6所述的可准确定位的绷网装置,其特征在于,所述绷拉单元还包括引导机构;在动力驱动机构的动力下,所述引导机构引导拉伸机构沿设定方向运动;所述引导机构包括一轨道机构;所述拉伸机构固定在该轨道机构上,弹性机构的弹性形变方向与轨道机构的设置方向一致;该轨道机构包括一导轨、与该导轨配合的导槽;导槽设置在拉伸机构下方,导轨设置在一基台上;或者,导槽设置在基台上,导轨设置在拉伸机构下方。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择