[实用新型]一种可准确定位的绷网装置有效

专利信息
申请号: 201220010205.4 申请日: 2012-01-11
公开(公告)号: CN202434582U 公开(公告)日: 2012-09-12
发明(设计)人: 魏志凌;高小平;张炜平 申请(专利权)人: 昆山允升吉光电科技有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;C23C14/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 准确 定位 装置
【权利要求书】:

1.一种可准确定位的绷网装置,其特征在于,所述绷网装置将掩模板绷紧固定在网框上;绷网装置包括:

绷拉机构,用以将掩膜板绷紧固定在一个平面上;

网框固定机构,用以调节网框的位置或/和角度,将网框固定在平面上的设定位置,且使得被固定的网框的上表面紧贴金属掩膜板的下表面。

2.如权利要求1所述的可准确定位的绷网装置,其特征在于,所述网框固定机构包括位置调节机构,用以调节网框在平面上的位置,将网框移动至掩模板下的设定区域。

3.如权利要求2所述的可准确定位的绷网装置,其特征在于,所述位置调节机构将网框移动至掩模板中央区域的下方。

4.如权利要求1所述的可准确定位的绷网装置,其特征在于,所述网框固定机构包括旋转角度调节机构,用以调节网框的旋转角度,使得网框所在平面平行于被固定的掩膜板所在平面。

5.如权利要求1至3之一所述的可准确定位的绷网装置,其特征在于,所述网框固定机构包括顶起机构,垂直于被固定的掩膜板或网框所在平面,用以顶起网框,实现掩膜板的下表面与网框的紧贴效果。

6.如权利要求1所述的可准确定位的绷网装置,其特征在于,所述绷拉机构包括控制系统及若干绷拉单元,各绷拉单元分布在网板的周边,控制系统控制各绷拉单元的动作;

所述绷拉单元包括动力驱动机构、拉伸机构,所述动力驱动机构连接拉伸机构;所述拉伸机构设有与网板连接的连接机构,通过该连接机构与网板连接。

7.如权利要求6所述的可准确定位的绷网装置,其特征在于,所述绷拉单元还包括弹性机构,所述动力驱动机构通过弹性机构连接拉伸机构。

8.如权利要求7所述的可准确定位的绷网装置,其特征在于,所述绷拉单元还包括弹性形变获取单元,用以感应所述弹性机构的弹性形变数据;所述弹性形变获取单元与所述控制系统连接,所述控制系统根据所述弹性形变获取单元感应的弹性形变数据,控制所述动力驱动机构提供的动力大小,进而控制动力驱动机构对拉伸机构的拉力。

9.如权利要求6所述的可准确定位的绷网装置,其特征在于,所述绷拉单元还包括引导机构;在动力驱动机构的动力下,所述引导机构引导拉伸机构沿设定方向运动;所述引导机构包括一轨道机构;所述拉伸机构固定在该轨道机构上,弹性机构的弹性形变方向与轨道机构的设置方向一致;该轨道机构包括一导轨、与该导轨配合的导槽;导槽设置在拉伸机构下方,导轨设置在一基台上;或者,导槽设置在基台上,导轨设置在拉伸机构下方。

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