[实用新型]一种可准确定位的绷网装置有效
申请号: | 201220010205.4 | 申请日: | 2012-01-11 |
公开(公告)号: | CN202434582U | 公开(公告)日: | 2012-09-12 |
发明(设计)人: | 魏志凌;高小平;张炜平 | 申请(专利权)人: | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;C23C14/04 |
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地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 准确 定位 装置 | ||
技术领域
本实用新型属于机械设备技术领域,涉及一种绷网装置,特别涉及一种可准确定位的绷网装置。
背景技术
有机发光二极管(OLED)显示器越来越普遍,在手机、媒体播放器及小型入门级电视等产品中犹为显著,目前其正在往大尺寸显示器进军。OLED无需背光源,可以自己发光,且可视度、亮度较高,而厚度更薄,结构也相对简单,若采用可挠式基板,则可变化成不同形状,被誉为“梦幻显示器”。由于OLED日益成熟,可将OLED照明应用于建筑照明或液晶显示器背光的用途,相较于传统的照明解决方案,OLED为这两种用途提供更低的耗电量及较高的设计弹性。对于OLED技术而言,未来必然是一片光明,如果说LED(发光二极管)是业界未来的发展方向,那么OLED就是未来的未来。
但目前OLED显示器技术尚在起步阶段,对于节能、提升OLED效率以及将整体解决方案尺寸降至最低等方面仍有许多改善空间, 而制作高质量的OLED显示器需要高标准的把握其制作过程中的每个环。其中OLED蒸镀技术作为制作OLED产品的关键技术,蒸镀质量在很大程度上直接影响最终的产品性能,蒸镀掩膜板在蒸镀过程中对蒸镀质量有决定性的作用。目前蒸镀掩膜板主要存在开口尺寸有偏差、开口有毛刺、对位偏移等问题。
在将掩膜板固定在网框上时,需要经准确的对位后方可固定,在实际操作中,在x-y平面上将掩膜板与网框进行定位,x、y方向上定位相对比较容易实现,但往往存在以下问题:定位后掩膜板与网框在x-y平面上存在一定的旋转角度。
实用新型内容
本实用新型的目的旨在至少解决上述技术缺陷之一,特别是解决定位时掩膜板与网框之间的角度偏差问题。
为达到上述目的,本实用新型提出了一种可准确定位的绷网装置,所述绷网装置将掩模板绷紧固定在网框上;绷网装置包括:绷拉机构、网框固定机构。绷拉机构用以将掩膜板绷紧固定在一个平面上;网框固定机构用以调节网框的位置或/和角度,将网框固定在平面上的设定位置,且使得被固定的网框的上表面紧贴金属掩膜板的下表面。
在本实用新型的一个实施例中,所述网框固定机构包括位置调节机构,用以调节网框在平面上的位置,将网框移动至掩模板下的设定区域。优选地,所述位置调节机构将网框移动至掩模板中央区域的下方。
在本实用新型的一个实施例中,所述网框固定机构包括旋转角度调节机构,用以调节网框的旋转角度,使得网框所在平面平行于被固定的掩膜板所在平面;
在本实用新型的一个实施例中,所述网框固定机构包括顶起机构,垂直于被固定的掩膜板或网框所在平面,用以顶起网框,实现掩膜板的下表面与网框的紧贴效果。
在本实用新型的一个实施例中,所述绷拉机构包括控制系统及若干绷拉单元,各绷拉单元分布在网板的周边,控制系统控制各绷拉单元的动作;所述绷拉单元包括动力驱动机构、拉伸机构,所述动力驱动机构连接拉伸机构;所述拉伸机构设有与网板连接的连接机构,通过该连接机构与网板连接。
在本实用新型的一个实施例中,所述绷拉单元还包括弹性机构,所述动力驱动机构通过弹性机构连接拉伸机构。
优选地,所述绷拉单元还包括弹性形变获取单元,用以感应所述弹性机构的弹性形变数据;所述弹性形变获取单元与所述控制系统连接,所述控制系统根据所述弹性形变获取单元感应的弹性形变数据,控制所述动力驱动机构提供的动力大小,进而控制动力驱动机构对拉伸机构的拉力。
在本实用新型的一个实施例中,所述绷拉单元还包括引导机构;在动力驱动机构的动力下,所述引导机构引导拉伸机构沿设定方向运动;所述引导机构包括一轨道机构;所述拉伸机构固定在该轨道机构上,弹性机构的弹性形变方向与轨道机构的设置方向一致;该轨道机构包括一导轨、与该导轨配合的导槽;导槽设置在拉伸机构下方,导轨设置在一基台上;或者,导槽设置在基台上,导轨设置在拉伸机构下方。
通过本实用新型提出的可准确定位的绷网装置,定位后的网框可准确的与金属掩膜板对位,如此对位后固定的掩膜板整体具有较高的精度,能更好的满足高精度OLED蒸镀等掩膜板的应用。同时,本实用新型设有多个绷拉单元,分别通过控制系统控制,可以使绷网装置作用在金属掩模板边缘的拉力均匀一致。
本实用新型附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
本实用新型上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
图1为可准确定位的绷网装置的结构示意图;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择