[实用新型]一种PECVD设备及应用于PECVD设备的反应腔内的密封件有效
| 申请号： | 201220014171.6 | 申请日： | 2012-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN202405227U | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 凌鸿锋;杨宁同 | 申请（专利权）人： | 无锡尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;郭迎侠 |
| 地址： | 214028 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 设备 应用于 反应 密封件 | ||
【权利要求书】：
1.一种应用于PECVD设备的反应腔内的密封件，所述密封件为圆盘形，所述密封件的中心设有一贯通的中心孔，所述密封件上还设置有多个贯通的通风孔，其特征在于，所述通风孔的直径不同于所述中心孔的直径。
2.如权利要求1所述的应用于PECVD设备的反应腔内的密封件，其特征在于，所述通风孔的直径小于所述中心孔的直径。
3.如权利要求1所述的应用于PECVD设备的反应腔内的密封件，其特征在于，所述通风孔均匀设置于所述中心孔周围。
4.如权利要求1或3所述的应用于PECVD设备的反应腔内的密封件，其特征在于，所述通风孔的数量大于六个。
5.如权利要求1或3所述的应用于PECVD设备的反应腔内的密封件，其特征在于，所述通风孔的数量为八个。
6.一种PECVD设备，其特征在于，其包括如权利要求1、2或5所述的密封件。
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