[实用新型]一种PECVD设备及应用于PECVD设备的反应腔内的密封件

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种PECVD设备，还涉及一种应用于PECVD设备的反应腔内的密封件。

背景技术

在太阳电池的生产过程中，需要在太阳电池的表面制作能够减少光在硅片表面反射从而增加入射光的减反射膜，以提高电池的转换效率。目前的太阳电池生产中用到的镀膜设备一般为管式PECVD镀膜设备，在PECVD镀膜设备的反应腔内具有一石英管，石英管的管内穿设有传导微波的铜管和与所述石英管同轴并且与所述石英管内壁紧密接触的圆盘形密封件。该密封件的中心设有一供所述铜管通过的中心孔，所述密封件上还设有多个通风孔。所述铜管所穿过的所述密封件主要起支撑传导微波的铜管和使反应腔与外部密封的作用。按正常设计，还有发送和接收微波的铜天线设置于石英管的两端，其中铜天线的头部插入石英管内部的所述铜管内。但发明人发现由于现有的密封件上的通风孔的直径大于中心孔，因此当铜天线插入石英管内时，很容易偏离中心孔的铜管而误插入通风孔内，造成铜天线和铜管的接触不良，而微波发生的5000v高压会使得接触不良的部位产生高温，从而烧坏密封件，进而导致设备停机检修，增加成本。

实用新型内容

鉴于现有技术存在的上述问题，本实用新型的目的在于提供一种PECVD设备及应用于PECVD设备的反应腔内的密封件。该密封件可以避免因为铜天线与铜管的接触不良而导致的设备故障。

为了实现上述目的，本实用新型提供的一种PECVD设备及其应用于PECVD设备的反应腔内的密封件，其中，所述密封件为圆盘形，所述密封件的中心设有一贯通的中心孔，所述密封件上还设置有多个贯通的通风孔，所述通风孔的直径小于所述中心孔。

作为优选，所述通风孔均匀设置于所述中心孔周围。

作为优选，所述通风孔的数量大于六个。

作为优选，所述通风孔的数量为八个。

与现有技术相比较，本实用新型的PECVD设备及其应用于PECVD设备的反应腔内的密封件可以在提供给石英管适当的冷却通风量的基础上，避免铜天线因误插入通风孔后而造成的接触不良，进而导致设备损坏的情况发生。

附图说明

图1为包括有本实用新型的密封件的PECVD设备的反应腔的局部分解结构示意图。

图2为本实用新型的应用于PECVD设备的反应腔内的密封件的主视图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的结构做进一步详细的说明。

如图1和图2所示，本实用新型提供的一种PECVD设备及其应用于PECVD设备的反应腔内的密封件2，所述密封件2为圆盘形，设置于PECVD镀膜设备(图中未示出)的反应腔(图中未示出)内的石英管4内部；所述密封件2的中心设有一贯通的中心孔21，所述密封件2上还设置有多个贯通的通风孔22；密封件2设于石英管4内部，并通过铝帽1和铝帽压紧圈5得以固定，为了达到较好的密封性，铝帽1和铝帽压紧圈5之间还设有多个“O”形密封圈；铜管3的端部穿设于所述中心孔21，并通过密封件2得以支撑于石英管4的内部；为了避免接收和发出微波信号的铜天线(图中未示出)在与传导微波的铜管3相接时将铜天线误插入通风孔22的情况发生，所述通风孔22的直径不同于所述中心孔21的直径，在本实用新型中的实施例中，所述通风孔22的直径小于所述中心孔21。

设置通风孔22的作用在于保证石英管4的适当冷却，为了使冷却风得以均匀输送，作为优选，如图2所示，所述通风孔22均匀设置于所述中心孔21周围。

另外，对于传统的密封件2来说，为了达到适当的通风量，通风孔22的设置数量通常为六个，但因为铜管3和中心孔21尺寸限定的原因，此时的通风孔22的直径必然大于中心孔21的直径。因此，在本实用新型中，在使所述通风孔22的直径小于中心孔21的直径的前提下，为了达到适当的通风量，作为优选，如图2所示，所述通风孔22的数量大于六个。本实施例中的通风孔22的数量设置了八个。

当然，以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。