[实用新型]线性蒸发源机构及具有该机构的精控蒸发装置

权利要求书

1.一种线性蒸发源机构，适于设置在呈真空环境的真空腔体内对蒸发源进行线性蒸发，其特征在于，所述线性蒸发源机构包括：

装置本体，所述装置本体上开设有开口向上的收容槽；

绝缘套组件，所述绝缘套组件固定于所述收容槽内，所述绝缘套组件包括第一水平绝缘套排，所述第一水平绝缘套排包括若干呈等间隔凸设于所述收容槽内的第一绝缘套，凸设于所述收容槽内的第一绝缘套位于同一高度且悬于所述收容槽内；

加热丝，所述加热丝的一端依次缠绕于所述第一绝缘套上并与外界电源的正极电性连接，所述加热丝的另一端与外界电源的负极电性连接；以及

蒸发盖，所述蒸发盖盖设于所述装置本体上并与所述收容槽形成加热腔，所述蒸发盖上开设有与所述第一绝缘套一一对应的置料槽，所述置料槽贯穿开设形成蒸发孔。

2.如权利要求1所述的线性蒸发源机构，其特征在于，所述绝缘套组件还包括第二水平绝缘套排，所述第二水平绝缘套排与所述第一水平绝缘套排平行且位于所述第一水平绝缘套排的下方，所述第二水平绝缘套排包括若干呈等间隔设置的第二绝缘套，每一所述第二绝缘套悬于所述收容槽内且位于两相邻所述第一绝缘套的投影之间，所述加热丝呈轮流的缠绕于所述第一绝缘套和第二绝缘套上。

3.如权利要求1所述的线性蒸发源机构，其特征在于，所述蒸发盖上凸伸出与所述蒸发孔连通的呈中空结构的蒸发源喷嘴。

4.如权利要求3所述的线性蒸发源机构，其特征在于，所述线性蒸发源机构还包括若干可扣合于所述蒸发源喷嘴上的喷嘴盖，若干所述喷嘴盖分别为第一喷嘴盖和第二喷嘴盖，所述第一喷嘴盖开设有孔径小于所述蒸发源喷嘴孔径的喷孔，所述第二喷嘴盖扣合于所述蒸发源喷嘴上对所述蒸发源喷嘴密封。

5.如权利要求1所述的线性蒸发源机构，其特征在于，穿出所述装置本体与外界电源正极及负极电性连接的加热丝两端分别套有陶瓷绝缘套。

6.如权利要求1所述的线性蒸发源机构，其特征在于，所述线性蒸发源机构还包括隔热板及若干隔热支撑柱，所述隔热支撑柱的顶端与所述装置本体的底端固定连接，所述隔热支撑柱的底端竖直延伸出并与所述隔热板固定连接，所述隔热板与所述装置本体平行形成散热区。

7.一种精控蒸发装置，适用于对基板进行精准的镀膜，所述精控蒸发装置包括提供真空环境的真空腔体及控制蒸发速率的控制器，基板收容于所述真空腔体内，其特征在于，所述精控蒸发装置还包括与所述控制器电性连接的传感器组件及如权利要求1至6任一项所述的线性蒸发源机构，所述线性蒸发源机构收容于所述真空腔体内并位于所述基板的正下方，所述传感器组件包括温度传感器及晶振传感器，所述晶振传感器设置于所述真空腔体内并与所述基板邻设，所述温度传感器安装在所述装置本体的内壁上。

8.如权利要求7所述的精控蒸发装置，其特征在于，所述精控蒸发装置还包括冷却装置，所述冷却装置包括冷却板及与所述控制器电性连接的冷却液输送器，所述冷却板开设有与所述冷却液输送器连通的冷却回路，所述冷却板收容于所述真空腔体内并呈紧贴的位于所述线性蒸发源机构的正下方。

9.如权利要求7所述的精控蒸发装置，其特征在于，所述精控蒸发装置还包括挡板装置，所述挡板装置包括挡板及与所述控制器电性连接的挡板驱动器，所述挡板收容于所述真空腔体内并位于所述线性蒸发源机构与所述基板之间，所述挡板驱动器驱使所述挡板开通或遮挡所述线性蒸发源机构。

10.如权利要求7所述的精控蒸发装置，其特征在于，所述晶振传感器位于所述基板的上方。