[实用新型]线性蒸发源机构及具有该机构的精控蒸发装置有效
申请号: | 201220018239.8 | 申请日: | 2012-01-13 |
公开(公告)号: | CN202482418U | 公开(公告)日: | 2012-10-10 |
发明(设计)人: | 王曼媛;范继良;刘惠森 | 申请(专利权)人: | 东莞宏威数码机械有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;郝传鑫 |
地址: | 523000 广东省东莞市南城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 线性 蒸发 机构 具有 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种蒸发源机构及具有该蒸发源机构的蒸发装置,尤其涉及一种适于设置在呈真空环境的真空腔体内对蒸发源进行线性蒸发的线性蒸发源机构及具有该线性蒸发源机构的精控蒸发装置。
背景技术
玻璃基材等薄板已广泛用于制造LCD-TFT显示屏、有机发光显示器件(OLED)面板、太阳能面板及其他类似者。于此类应用中大多在洁净玻璃上镀覆薄膜,这类大型玻璃基材的制程通常包含实施多个连续步骤,包括如化学气相沉积制程(CVD)、物理气相沉积制程(PVD)、有机物质蒸镀、磁控溅射沉积或蚀刻制程。
由于上述制程的工艺要求均比较严格,尤其是有机物质蒸镀制程,不但需要在完全洁净的空间环境中进行,而且对于玻璃基板的镀膜厚度的要求也相当严格,需要工作人员可以在镀膜过程中做到全程监控,随时了解镀膜层的厚度以使得镀膜后的玻璃基板的镀膜层厚度达到工艺所需要的均匀性要求。其中,在玻璃基板镀膜的过程中,会使用到蒸发源机构对有机物质进行蒸发,且蒸发源机构性能的好坏直接影响到玻璃基板镀膜层厚度的均匀性,因此,选择好的蒸发源机构是确保玻璃基板镀膜层具有均匀性的重要条件之一。但是,现有的蒸发源机构却存在如下的不足:
现有的蒸发源机构是把所有的有机物质集中的置于蒸发源机构的加热腔内,然后通过蒸发源机构的加热板把加热腔内的有机物质进行加热蒸发形成蒸发物质,蒸发物质通过蒸发源机构的蒸发源喷嘴后向四周扩散,扩散的蒸发物质贴附于玻璃基板以实现玻璃基板的镀膜。由于蒸发物质的浓度是以蒸发源喷嘴为中心向两侧呈递减的布置,故使得与蒸发源喷嘴正对的玻璃基板的部位处的镀膜层厚度相应的比玻璃基板的其他部位的要厚一些,从而严重的影响到玻璃基板的镀膜层的均匀性,相应的影响到后续器件的质量及寿命。
因此,急需一种能为玻璃基板的均匀性镀膜提供优异条件的线性蒸发源机构。
实用新型内容
本实用新型的一目的在于提供一种能为玻璃基板的均匀性镀膜提供优异条件的线性蒸发源机构。
本实用新型的另一目的在于提供一种能精准控制有机物质的蒸发速率以使玻璃基板镀膜更均匀的精控蒸发装置
为实现上述目的,本实用新型提供了一种线性蒸发源机构,适于设置在呈真空环境的真空腔体内对蒸发源进行线性蒸发,其中,所述线性蒸发源机构包括装置本体、绝缘套组件、加热丝及蒸发盖。所述装置本体上开设有开口向上的收容槽;所述绝缘套组件固定于所述收容槽内,所述绝缘套组件包括第一水平绝缘套排,所述第一水平绝缘套排包括若干呈等间隔凸设于所述收容槽内的第一绝缘套,凸设于所述收容槽内的第一绝缘套位于同一高度且悬于所述收容槽内;所述加热丝的一端依次缠绕于所述第一绝缘套上并与外界电源的正极电性连接,所述加热丝的另一端与外界电源的负极电性连接;所述蒸发盖盖设于所述装置本体上并与所述收容槽形成加热腔,所述蒸发盖上开设有与所述第一绝缘套一一对应的置料槽,所述置料槽贯穿开设形成蒸发孔。
较佳地,所述绝缘套组件还包括第二水平绝缘套排,所述第二水平绝缘套排与所述第一水平绝缘套排平行且位于所述第一水平绝缘套排的下方,所述第二水平绝缘套排包括若干呈等间隔设置的第二绝缘套,每一所述第二绝缘套悬于所述收容槽内且位于两相邻所述第一绝缘套的投影之间,所述加热丝呈轮流的缠绕于所述第一绝缘套和第二绝缘套上。通过由上述的第二绝缘套构成的第二水平绝缘套排,相应的增加了加热丝的缠绕长度,使得加热腔能在更短时间内达到所述需要的工艺温度以满足镀膜的要求。
较佳地,所述蒸发盖上凸伸出与所述蒸发孔连通的呈中空结构的蒸发源喷嘴,使得操作人员选择相应盖子去改变蒸发源喷嘴孔径的大小,或者对蒸发源喷嘴进行密封以满足玻璃基板不同的工艺镀膜要求。具体地,本实用新型线性蒸发源机构还包括若干可扣合于所述蒸发源喷嘴上的喷嘴盖,若干所述喷嘴盖分别为第一喷嘴盖和第二喷嘴盖,所述第一喷嘴盖开设有孔径小于所述蒸发源喷嘴孔径的喷孔,所述第二喷嘴盖扣合于所述蒸发源喷嘴上对所述蒸发源喷嘴密封,使得本实用新型的线性蒸发源机构能根据工艺要求更加准确的调配蒸发物质各处的浓度,从而为玻璃基板的均匀性镀膜创造最优的条件。
较佳地,穿出所述装置本体与外界电源正极及负极电性连接的加热丝两端分别套有陶瓷绝缘套,对加热丝的两端进行绝缘封装,提高安全性。
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